技术实现要素:本发明解决的技术问题在于提供高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法,在不影响光电二极管响应度的前提下,解决了硅基光电二极管响应速度慢的问题,实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明是通过以下技术方案来实现:一种高速高响应度的硅基光电二极管,包括背面设有背面电极的衬底;衬底正面依次设有高反层、外延层、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极;所述的高反层上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔,以及与正面金属电极相对应的刻蚀区;所述的注入层包括保护环以及设在其内的有源区;所述的正面金属电极还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区相连接。所述的衬底为电阻率20~100为ohm·cm的硅基衬底,衬底背面直接做金属化处理形成背面电极。所述的高反层由折射率~~;高反层上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔,或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时,孔直径为10~50um,孔间距为15~50um,圆形孔的总面积为结面积的1/2;所述的刻蚀孔为同心环形孔时,同心环中心与正面金属电极的中心重合,同心环中心为刻蚀区,相邻环间距5~20um。所述的外延层淀积在高反层上;在外延层上分别以n型离子注入形成保护环。硅光电二极管阵列 选择世华高。常州硅pin硅光电二极管批发
便于操作人员将高压二极管硅叠从石英玻璃罩1中取出;上固定板3的一侧设有控制面板,控制面板的一侧固定设有电磁铁开关、温度检测仪开关、熔深检测仪开关和感应线圈开关,电磁铁6、温度检测仪13、熔深检测仪14分别通过电磁铁开关、温度检测仪开关、熔深检测仪开关和感应线圈开关与外接电源电性连接。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。感应线圈16通过感应线圈开关与高频加热电源电性连接,真空电磁阀9、微型真空泵10、氮气电磁阀11和氮气充气泵12均通过plc控制器4与外接电源电性连接。具体使用时,本实用新型一种高压二极管硅叠中频真空焊接系统,将待焊接硅叠放置在石英玻璃罩1下端的下固定板7上,放置好后。广东进口硅光电二极管供应硅光电二极管工作原理哪家好?世华高。
深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。硅光电二极管是当前普遍应用的半导体光电二极管。下面我们谈谈2CU和2DU两种类型硅光电二极管的种类、构造以及应用上的一些问题。种类与构造一、2CU型硅光电二极管:2CU型硅光电二极管是用N型硅单晶制作的,根据外形尺寸的大小它又可分2CU1,2CU2,2CU3等型号,其中2CU1与2CU2体积较大,2CU3稍小些(见图1(a))。这种类型的光电二极管多用带透镜窗口的金属管壳封装,下端有正、负两个电极引线,它们分别与管心中的光敏面(P型层)和N型衬底相连。光线从窗入后经透镜聚焦在管心上,由于这种聚光作用增强了光照强度,从而可以产生较大的光电流。
其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。实施例一一种sr掺杂batio3/znte光阴极材料的制备方法,具体步骤如下:称取、,依次加入2ml乙酸、6ml乙醇和6ml水,搅拌一定时间,使固体粉末完全溶解;然后,加入,搅拌24h,得到纺丝溶液;移取7ml纺丝溶液到10ml注射器中,设置静电纺丝工艺参数:注射器推进速度3mm/h,纺丝电压18kv,接收距离8cm,滚筒转速200r/min,在固定于滚筒上的fto玻璃上接收固化的复合纤维,150℃烘箱中干燥过夜,烘干后置于600℃马弗炉中煅烧2h,热分解后即可获得sr掺杂batio3薄膜电极;配制30ml浓度为5mmol/l硝酸锌、5mmol/l碲酸钠和,搅拌均匀,转入50ml水热反应釜中;将sr掺杂batio3薄膜电极放入反应釜内,fto导电面朝下,密封水热反应釜,置于恒温干燥箱中,160℃水热反应10h;反应结束,取出fto电极,水洗3次,60℃下真空干燥8h;干燥后,将薄膜放入管式炉内,氮气保护条件下煅烧。硅光电二极管厂家就找世华高。
深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。本发明属于半导体器件技术领域,涉及一种高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法。背景技术:硅基光电二极管由于其材料成本造工艺简单,响应度峰值波长为940nm,在3dsensor、红外测距、光通讯等领域有着广泛的应用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波长相关,波长越长,入射越深,因此为了提高响应度,传统光电二极管均选用高阻材料(电阻率2000~5000ohmcm)来提升耗尽区宽度,从而达到提高响应度的目的。随着光电二极管在光通讯中的广泛应用,光电二极管的响应速度要求越来越高,常规硅基光电二极管响应时间为纳秒级,已无法满足数据传输率1gbps以上的应用场景,因此。硅光电二极管主流供应商?世华高!宁波进口硅光电二极管找哪家
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本发明具有以下有益的技术效果:本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管,通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率,耗尽区宽度减小导致响应度的降低,本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿;高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时,降低响应时间;由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低,扩散区阻抗很小,因此扩散时间很短;从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管,由于通过低阻材料降低了扩散区电阻,缩短了扩散时间;而高反层的设置提高了长波的吸收效率,降低了耗尽区的物理厚度,缩短了漂移时间,并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗;衬底采用低电阻率材料,背面不用进行减薄注入,直接背面金属化形成背面电极,避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图;图2为本发明的等效电路示意图;图3为本发明的高反层原理示意图;图4为多孔结构高反层的示意图;图5-1~图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线;图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。常州硅pin硅光电二极管批发
通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率,耗尽区宽度减小导致响应度的降低,再通过增加高反层使得光子在较薄的耗尽区中二次吸收来补偿,以减小耗尽区变薄对光响应度的影响(参见图3);高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时,降低响应时间;进一步,通过在高反层上刻孔形成均匀的电流路径同时获得高的响应速度(参见图4);由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低,扩散区阻抗很小。深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光...