南京取向检测分析

超薄HfO2薄膜XRR测试引言随着晶体管节点技术的发展，薄膜厚度越来越薄。比如高-栅介电薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在该技术节点的a20范围内。超薄膜的均匀性是制备Hf基栅氧化物的主要工艺难题之一。为了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度，XRR是的测量技术。由于具有出色的适应能力，使用D8ADVANCE，您就可对所有类型的样品进行测量：从液体到粉末、从薄膜到固体块状物。无论是新手用户还是**用户，都可简单快捷、不出错地对配置进行更改。这都是通过布鲁克独特的DAVINCI设计实现的：配置仪器时，免工具、免准直，同时还受到自动化的实时组件识别与验证的支持。不止如此——布鲁克提供基于NIST标样刚玉（SRM1976）的准直保证。目前，在峰位、强度和分辨率方面，市面上尚无其他粉末衍射仪的精度超过D8ADVANCE。对较大300 mm的样品进行扫描、安装和扫描重量不超过5kg的样品、自动化接口。南京取向检测分析

D8ADVANCEECO是市面上环保的X射线衍射仪，其应用范围、数据质量、灵活性和可升级性毫不打折扣。D8ADVANCEECO是功能齐全的D8ADVANCE版本，适用于所有X射线粉末衍射和散射应用。与D8ADVANCE完全兼容，它具有面向未来的所有灵活性。面对新应用，您随时都能对它轻松完成升级，从而适应未来实验室可能出现的任何X射线衍射和散射应用需求：相鉴定定量相分析微观结构分析结构测定和精修残余应力织构掠入射衍射（GID）X射线反射分析（XRR）小角X射线散射（SAXS）对分布函数（PDF）分析江苏全新XRD衍射仪哪里好在DIFFRAC.EVA中，进行半定量分析，以现实孔板上不同相的浓度。

RuO2薄膜掠入射XRD-GID引言薄膜材料就是厚度介于一个纳米到几个微米之间的单层或者多层材料。由于厚度比较薄，薄膜材通常依附于一定的衬底材料之上。常规的XRD测试，X射线的穿透深度一般在几个微米到几十个微米，这远远大于薄膜的厚度，导致薄膜的信号会受到衬底的影响（图1）。另外，如果衍射简单较高，那么X射线只能辐射到部分样品，无法利用整个样品的体积，衍射信号弱。薄膜掠入射衍射（GID：GrazingIncidenceX-RayDiffraction）很好的解绝了以上问题。所谓掠入射是指使X射线以非常小小的入射角（＜5°）照射到薄膜上，小的入射角大大减小了在薄膜中的穿透深度，同时增加衍射颗粒的数目和x射线在薄膜中的光程。这里有两点说明：GID需要硬件配置；常规GID只适合多晶薄膜和非晶薄膜，不适合单晶外延膜。

多层膜XRR引言X射线反射率（XRR：X-RayReflectivity）单层薄膜或多层膜中各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数的有效无损检测手段。由于具有出色的适应能力，使用D8ADVANCE，您就可对所有类型的样品进行测量：从液体到粉末、从薄膜到固体块状物。无论是新手用户还是**用户，都可简单快捷、不出错地对配置进行更改。这都是通过布鲁克独特的DAVINCI设计实现的：配置仪器时，免工具、免准直，同时还受到自动化的实时组件识别与验证的支持。不止如此——布鲁克提供基于NIST标样刚玉（SRM1976）的准直保证。目前，在峰位、强度和分辨率方面，市面上尚无其他粉末衍射仪的精度超过D8ADVANCE。在DIFFRAC.LEPTOS中，对多层样品进行XRR分析，测定其薄膜厚度、晶格失配和混合晶体浓度。

药用滑石粉中石棉的测定引言滑石粉主要成分是滑石（含水的硅酸镁）。滑石粉用于医药、食品行业的添加剂。在滑石成矿过程中，常伴生有其他矿石，如角闪石和蛇纹石等石棉成分。石棉为物质。而根据中国药典，药用滑石粉中，石棉应“不得检出”。在2θ=10.5±0.1°处的XRD特征峰为角闪石特征峰，在2θ=12.1±0.1°和2θ=24.3±0.1°处的XRD特征峰为蛇纹石特征峰。无论是新手用户还是**用户，都可简单快捷、不出错地对配置进行更改。这都是通过布鲁克独特的DAVINCI设计实现的：配置仪器时，免工具、免准直，同时还受到自动化的实时组件识别与验证的支持。不仅如此——布鲁克提供基于NIST标样刚玉（SRM1976）的准直保证。目前，在峰位、强度和分辨率方面，市面上尚无其他粉末衍射仪的精度超过D8ADVANCE。D8 DISCOVER配备了MONTEL光学器件的IµS微焦源可提供更大强度小X射线束，非常适合小范围或小样品的研究。南京取向检测分析

D8 DISCOVER 特点：UMC样品台可对重达5 kg的样品进行扫描、大区域映射300mm的样品、高通量筛选支持三个孔板。南京取向检测分析

由于具有出色的适应能力，使用D8ADVANCE，您就可对所有类型的样品进行测量：从液体到粉末、从薄膜到固体块状物。无论是新手用户还是**用户，都可简单快捷、不出错地对配置进行更改。这都是通过布鲁克独特的DAVINCI设计实现的：配置仪器时，免工具、免准直，同时还受到自动化的实时组件识别与验证的支持。布鲁克提供基于NIST标样刚玉（SRM1976）的准直保证。目前，在峰位、强度和分辨率方面，市面上尚无其他粉末衍射仪的精度超过D8ADVANCE。南京取向检测分析

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