晶圆传送系统的机械臂关节、真空吸盘密封润滑场景中，全氟聚醚润滑油的耐等离子体特性至关重要。该系统长期处于等离子体蚀刻环境，普通润滑剂易被等离子体分解，产生有害杂质污染晶圆，且无法耐受氟系蚀刻气体的化学攻击。油邦手全氟聚醚润滑油系列具有极强的化学惰性，几乎不与等离子体及氟系气体发生反应，在润滑过程中不...