纳米技术的发展为钛靶材微观结构调控带来了性变化。通过机械合金化、溶胶-凝胶法、化学气相沉积等技术，可制备出具有纳米结构的钛靶材。以机械合金化为例，将钛粉与合金元素粉末在高能球磨机中长时间研磨，使粉末颗粒在反复的碰撞、冷焊与破碎过程中实现原子级的混合，形成纳米晶结构。采用该方法制备的纳米晶钛靶材，晶粒尺寸可细化至20-50nm，与传统粗晶钛...