新型光刻工艺无需定制定位纸,在于用 “实时动态定位系统” 替代传统定位纸的物理对位功能,配合全流程连线加工,实现生产效率与成本控制的双重突破。传统光刻工艺需定制定位纸,通过人工贴合在基材表面引导后续压印、曝光工序,而新型工艺搭载的光学传感器与 AI 视觉识别技术,可实时捕捉光刻纸基材的边缘偏差、张力波动(精度达 ±0.01mm),同步驱动...