化学放大型光刻胶:原理、优势与挑战**原理:光酸产生剂的作用、曝光后烘中的酸催化反应(脱保护/交联)。相比非化学放大胶的巨大优势(灵敏度、分辨率潜力)。面临的挑战:酸扩散控制(影响分辨率)、环境敏感性(对碱污染)、线边缘粗糙度。关键组分:聚合物树脂(含保护基团)、光酸产生剂、淬灭剂的作用。EUV光刻胶:机遇与瓶颈EUV光子的特性(能量高、...
查看详细 >>金属氧化物光刻胶:EUV时代的潜力股基本原理:金属氧簇或金属有机框架结构。**优势:高EUV吸收率(减少剂量需求)、高抗刻蚀性(简化工艺)、潜在的低随机缺陷。工作机制:曝光导致溶解度变化(配体解离/交联)。**厂商与技术(如Inpria)。面临的挑战:材料合成复杂性、显影工艺优化、与现有半导体制造流程的整合、金属污染控制。应用现状与前景。...
查看详细 >>工业制造与材料加工 衬垫与密封材料 ◦ 锡片因延展性强、耐低温,可作为高温或高压环境下的密封垫片(如管道连接、机械部件密封),尤其适合需要无火花、低摩擦的场景(如易燃易爆环境)。 合金基材与镀层 ◦ 作为锡基合金的原料(如巴氏合金、焊料合金),添加铅、铜、银等元素后用...
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