二次电子的能量利用：溅射过程中产生的二次电子在磁场作用下被束缚在靶材表面附近，进一步参与气体电离，形成自持的放电过程。由于二次电子能量较低，终沉积在基片上的能量很小，基片温升较低。 磁场分布对溅射的影响： 平衡磁控溅射：磁场在靶材表面均匀分布，等离子体区域集中在靶材附近，溅射速率高但离子轰击基片能量较低。 非平衡磁控...

  溅射镀膜原理（也是气相沉积 - PVD 的一种）溅射镀膜在真空镀膜机中是另一种重要的镀膜方式。在溅射镀膜系统中，首先在真空室内通入惰性气体（如氩气），然后利用高压电场使氩气电离，产生氩离子。氩离子在电场的加速下，以很高的速度轰击靶材（即镀膜材料）。例如，当靶材是钛时，高速的氩离子撞击钛靶材表面，会将钛原子从靶材表面溅射出来。这些被溅射出来...

  提升了清理效率。附图说明图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的结构示意俯视图。图中：1控制箱、2前罐体、3后罐体、4清理装置、41通孔、42喷头、43刮板、44u形架、5驱动装置、51半圆槽、52半圆板、53转轴通孔、54减速电机、55防护罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具体实施方式下面将结合...

  提升了清理效率。附图说明图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的结构示意俯视图。图中：1控制箱、2前罐体、3后罐体、4清理装置、41通孔、42喷头、43刮板、44u形架、5驱动装置、51半圆槽、52半圆板、53转轴通孔、54减速电机、55防护罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具体实施方式下面将结合...

  高真空多层精密光学镀膜机BLL-900F型常规配置;真空系统真空泵:2X-70SV300E2M275增压泵:ZJP300WAU1001EH1200高真空泵:分子泵低温泵扩散泵真空室加热系统:ZUI高温度:0到400℃型号:不锈钢管装加热器(选择:红外线灯管)基片架盘型号:球面型(选择:平面型，公自转，多行星型，可调角度行星盘)...