腐蚀性气体(如氯气、氟化氢):会加速金属...
如果前级泵的抽气速率不足,会导致罗茨真空...
排气过程:当气体被压缩到一定程度时,通过...
转子的转速直接影响着局部真空区域的形成速...
安装与运行环境:干式真空泵的安装基础不平...
在半导体制造过程中,真空机组被广阔应用于...
轴端齿轮同步驱动:转子通常由轴端齿轮同步...
这意味着它们可以在短时间内从真空室内抽出...
这意味着在压缩过程中气体的温度变化相对较...
检查连接部件:检查各连接部位(如螺栓、螺...
排出口背压过大会影响真空泵的性能和寿命。...
光学薄膜沉积:在光学薄膜的制备过程中,真...