旋片罗茨真空机组一般运用于对洁净度要求不是很高，且腔体较大的真空等离子清洗机上，干式螺杆罗茨泵真空机组则用于生物医疗领域、半导体领域以及航天航空领域等洁净度要求较高的行业。旋转式变容真空泵，须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内，有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。大量用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机...
