反应腔体的设计与材料选择反应腔体是碳纳米管等离子体制备设备的另一个关键部件。它承担着容纳等离子体、提供生长环境的重要任务。为了确保在极端条件下仍能稳定运行，反应腔体采用了耐高温、耐腐蚀的材料制成，如3...

等离子体射流的魅力源于其非平衡态特性与丰富的活性组分。物理上，其蕞明显的特征是热力学非平衡性：电子的温度（能量）极高（1-10 eV，约合数万开尔文），而重粒子（离子、中性原子）的温度却很低，可接近室...

温度是影响气相沉积过程的另一个关键因素。沉积温度不仅影响原子的蒸发速率和扩散能力，还决定了原子在基体表面的迁移和结合方式。通过精确控制沉积温度，可以优化薄膜的结晶度、致密性和附着力。同时，温度的均匀性...

反应腔的结构与优化：反应腔是等离子体反应系统中原料与等离子体进行反应的场所。其结构设计需考虑原料的输入方式、等离子体的分布与运动状态以及产物的收集与分离等因素。为了提高反应效率与产物质量，反应腔通常采...

在气相沉积过程中，基体表面的状态对薄膜的生长和性能具有明显影响。因此，在气相沉积前，对基体进行预处理，如清洗、活化等，是提高薄膜质量和性能的关键步骤。气相沉积技术能够制备出具有特定结构和功能的纳米材料...

在微电子打线和焊线过程中，等离子射流技术也展现出了其独特的优势。通过使用氩气等工艺气体产生等离子体，可以清理焊盘表面的有机污染物和氧化物，从而提高打线和焊线时的可靠性，减少因表面污染导致的连接不良或失...

热等离子体是由高温、高密度的电离气体组成的物质，是一种特殊的物态。在热等离子体中，气体分子被高能电子撞击后失去了部分电子，形成了带正电荷的离子和带负电荷的自由电子。这些离子和自由电子之间的相互作用导致...

臭气处理设备是一种专门用于处理污水、垃圾、化工等行业产生的臭气的设备。臭气处理设备的主要作用是将产生的臭气进行处理，使其达到国家标准排放要求，从而减少对环境的污染和对人体健康的影响。臭气处理设备的种类...

臭氧发生器是用于将氧气转化为臭氧的关键设备。臭氧是一种强氧化剂，可以有效地分解废气中的有机污染物，并将其转化为无害的物质。活性炭吸附器是用于吸附废气中剩余的臭气成分的关键设备。活性炭是一种具有高吸附性...

随着气相沉积技术的不断发展，新型的沉积方法和设备也不断涌现。例如，多源共蒸发技术可以实现多种材料的同时沉积，制备出多组分的复合薄膜；而等离子体辅助气相沉积技术则可以利用等离子体的高能量和高活性，提高薄...

等离子体射流的空间特性包括轴向和径向两个方向。等离子体射流的轴向结构包括射流的连续性、暗通道特性，以及多行为。而等离子体射流的径向结构中特性为等离子体的空心环结构。 等离子体射流的时间分辨特...

等离子体射流在化学合成领域的应用日益广。通过利用等离子体射流产生的高能粒子，可以加速化学反应进程，提高合成效率和产物纯度，为化学工业的发展提供了有力支持。在微电子制造领域，等离子体射流技术以其高精度和...