推荐将耐蚀刻膜6的厚度抑制为75μm以下，进一步推荐地，可以将耐蚀刻膜6的厚度设为60μm以下。如后所述，在本实施方式中，通过形成改性线来加快蚀刻处理，因此即使将耐蚀刻膜6...

c)以及图20的(d)所示那样的激光加工，能抑制这样的不良状况的发生。即，如图20的(c)所示，可以从阵列基板12侧在进行了焦点调整以及强度调整后扫描激光以*在阵列基板12...