在芯片制造的刻蚀、沉积等关键工艺环节，需使用氢气、氧气、氩气、氦气等超纯气体，在线痕量气体分析仪可检测气体中ppb级甚至ppt级杂质，避免杂质影响芯片性能与良率。为防止采样过程中气...

复杂现场工况对在线分析仪的原理适配提出特殊要求，需通过技术优化确保检测稳定性。在高温工况（如电厂锅炉烟道、钢铁冶炼炉）中，光学类分析仪需配备高温探头、冷却装置，避免光源与检测器因高...