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真空度传感器,采用先进的硅微机械加工技术生产,以集成硅压阻力敏元件作为传感器的**元件制成的压力变送器,由于采用硅-硅直接键合或硅-派勒克斯玻璃静电键合形成的真空参考压力腔,及一系列无应力封装技术及精...