**精密平台是一种能够实现高精度、高稳定...
控制要求搭配步进电机(成本低)或伺服电机...
产业**:精密平台重构全球价值链在半导体...
(3)初级绕组利用率高。在管型直线感应电...
圆柱形动磁体直线电机的磁路与动磁执行器相...
考虑到微流体测量移动平台必须能够实现X、...
1. 多工设计整合驱动用的滚珠螺杆及LM...
控制要求搭配步进电机(成本低)或伺服电机...
次级为导体(如铝板),依靠感应涡流产生推...
直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机...
控制单元包括电机驱动器、PLC或运动控制...
调节机构:配备水平调节装置,重复定位精度...