将待加工部件固定在托盘上包括:采...
实现玻璃与喷淋液充分均匀接触的同...
并控制磁转子12和喷头11每间隔...
用于将空气喷射到玻璃的将被暴露于...
并控制磁转子12和喷头11每间隔...
若干所述侧支撑件44固定设置在所...
即两所述侧板422之间设置有一排...
在本发明的一个实施例中,抛光液1...
本发明涉及玻璃减薄技术领域,具体...
所述控制器用于控制减薄处理过程,...
所述控制器进行第二次减薄厚度确认...
降低待加工部件20如inp基晶圆...