现代社会每个人都在享受着真空技术给我们带来的便利。例如:暖壶能保温的秘诀就在于瓶壁内有真空的空间,减少了热传导,以保持壶内温度;荧光灯、街灯、汽车照明灯的内部也是真空状态,否则就无法发光。电视、电脑显示器等也离不开真空。眼镜和摄像机、照相机镜头为了提高光的透过率,表面所镀的光学薄膜也是应用了真空技术。 半导体产业离不开真空技术。生产半导体元件:(1)要在硅片上掺入相应的其他元素;(2)在生产集成电路时要形成复杂的金属薄膜和绝缘膜;(3)要进行表面的刻蚀处理等复杂的工序。如果生产过程中的真空度不够,表面上沾了灰尘或油滴之后会出现严重的后果。集成电路中细线的宽度是吸烟时吐出的烟雾颗粒直径的1/3,是一粒灰尘直径的近万分之一。对集成电路而言,哪怕落有一颗烟雾的颗粒,就好像大路上停了一架大型飞机一样,使电子无法通过或造成短路。 新材料开发离不开真空。以分子束外延为**的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段,德国莱宝分子泵哪家好,薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华,德国莱宝分子泵哪家好,德国莱宝分子泵哪家好,在超高真空环境中,薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行,到达衬底成膜;而且由于残留气体少,衬底表面形成的薄膜纯度高。
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Varian意大利瓦里安分子泵于2010年被美国的Agilent安捷伦公司收购了,瓦里安Varian的分子泵几乎涵盖了大部分可能的应用领域,特有的机电一体化的设计,具有前级耐压高的特性,适用于10-10-10毫巴的真空环境。 应用领域:建筑玻璃镀膜,汽车玻璃镀膜,太阳能玻璃镀膜,平板显示屏镀膜 、增强耐磨性能的表面处理、制备功能性薄膜及装饰型镀膜、金属化膜层、食品工业,包装业及电子产品行业的卷绕镀膜。 上海捷恬提供Varian TURBO Pump瓦里安Turbo全系列分子泵销售/维修/保养 Varian TURBO Pump意大利瓦里安分子泵维修、保养的部分型号: Turbo-V/D/LP系列 Turbo-V70D、Turbo-V70LP Turbo-V-G系列 Turbo-V300-G、Turbo-V302-G Turbo-V-T/M系列 Turbo-V81-T 、Turbo-V81-M
美国的Agilent安捷伦公司于2010年收购了Varian瓦里安分子泵。安捷伦提供了抽速从 46 至 7500 升/秒的全系列涡轮分子泵,其中包括 Navigator 和 TwisTorr 两个产品线。 应用领域:高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的**泵。 上海捷恬提供Agilent TURBO Pump Controllers美国安捷伦Turbo全系列分子泵控制器/驱动器/电源/ 销售/维修/保养 Agilent TURBO Pump Controllers 安捷伦分子泵电源、控制器、驱动器维修的部分型号: TV/NSF系列 TV401/301/21 NSF Turbo-V/KG/KT系列 Turbo-V1KG、Turbo-V3KT Turbo-V/ICE系列 Turbo-V1000ICE、Turbo-V2000ICE Turbo-V/HT系列 Turbo-V1000HT、Turbo-V1001HT、Turbo-V2000HT TwisTorr/FS-AG系列 TwisTorr 84 FS、TwisTorr 304 FS、TwisTorr 304 FS-AG Turbo-V-AG系列 Turbo-V81-AG、TwisTorr 84 FS-AG、Turbo-V301-AG 、Turbo-V750/850-AG Turbo-V/Rack系列
一、概述:日本ULVAC在提供各种真空设备的同时,还提供各种真空泵,真空计测,氦气质朴检漏仪等各种真空配套设备。同时提供优良的售后服务。低温泵也是优势产品之一。 二、详细说明:型号 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500 UTM-1500 入口法兰尺寸 CF CF114 CF152 CF203 CF305 JIS VG 65 100 150 250 出口法兰尺寸 NW16 NW25 NW40 JIS VF50 泵速度 N2 50 190 300 550 1600 (l/s) (*1, *2) H2 40 160 260 500 1650 压缩比 N2 108 (*1, *3) H2 103 104 极限压力 10-7 10-8 (Pa) (*1, *3) 轴承形式 Top Permanent magnet bearings Bottom Pivot bearings 冷却方法 Air-cooled/water-cooled
选用真空泵时,需要注意下列事项: 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。