Seiko Seiki日本精工精机涡轮泵是清洁和干燥真空技术的先锋。STP系列磁悬浮分子泵1983年在全世界范围内开始销售，如今被Edwards爱德华收购。精工精机现在由爱德华兹拥有，主要是用在半导体市场。他们表现出的***的可靠性水平在恶劣的应用. 上海捷恬提供Seiko Seiki TURBO Pump Controllers日本精工SCU全系列分子泵控制器/驱动器/电源/ 销售/维修/保养 Seiko Seiki TURBO Pump Controllers日本精工分子泵控制器、电源、驱动器维修的部分型号: SCU系列： SCU-200、SCU-300、SCU-400、SCU-600、SCU-451、SCU-603 SCU-C系列： SCU-300C、SCU-1003C、SCU-2000C、SCU-2001C、SCU-2002C SCU-H/C系列： SCU-H200C、SCU-301H，**分子泵的行业须知、SCU-H1000C，**分子泵的行业须知、SCU-H803C、 SCU-H1000、SCU-H1301C1 SCU-A/C系列： SCU-A1303CV2、 SCU-A1603、SCU-A2203、SCU-A2203C、SCU-A2203P、SCU-A2503PV SCU-XA/C系列： SCU-XA2603P、SCU-XA2703CV，**分子泵的行业须知、SCU-XA3203CV SCU-H/L/K系列： SCU-H1301L1、SCU-H1301L1B、SCU-H2001K1
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选用真空泵时，需要注意下列事项： 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。
关于常用真空泵的运行、选择以及维护等方面的重要信息的概述，并为您提供方案，避免这些问题的发生。 1、涡轮分子泵结构原理 涡轮分子泵是高或超高真空泵，主要由转子和定子两个部分组成。一个旋转的转子盘和一个静止的定子盘组成了一个泵级，泵级产生一个特定的压缩比。通过连续开启增加压缩效果的多个泵级，可以获得高达 1013的压缩比。例如，现代真空泵在后侧使用霍尔维克级(Holweck)，减少了涡轮级的数量而不影响压缩效果。与此同时，一些生产商可能将允许的前级管道压力增加至 30 hPa 以上，极大减小了前级泵的尺寸。 无额外压缩级的涡轮泵可用于易凝结、升华以及形成颗粒的过程，因为狭窄的缝隙可导致沉积、机械损伤或堵塞。 2、涡轮分子泵前级真空压力 对于带有额外压缩级的涡轮分子泵，其前真空压力可以上升至 30 hPa以上。对于带有纯涡轮级的分子泵，前真空压力为 2-3hPa，但是这取决于抽送气体的种类，如氮气为 2 hPa，氢气为 0.5 hPa。 由于泵的过热，超过生产商指定的较大压力会导致轴承受损，情况严重的甚至会导致彻底失效。气体摩擦上升过高，且额外产生的压缩热无法消散。
现代社会每个人都在享受着真空技术给我们带来的便利。例如：暖壶能保温的秘诀就在于瓶壁内有真空的空间，减少了热传导，以保持壶内温度;荧光灯、街灯、汽车照明灯的内部也是真空状态，否则就无法发光。电视、电脑显示器等也离不开真空。眼镜和摄像机、照相机镜头为了提高光的透过率，表面所镀的光学薄膜也是应用了真空技术。 半导体产业离不开真空技术。生产半导体元件：(1)要在硅片上掺入相应的其他元素;(2)在生产集成电路时要形成复杂的金属薄膜和绝缘膜;(3)要进行表面的刻蚀处理等复杂的工序。如果生产过程中的真空度不够，表面上沾了灰尘或油滴之后会出现严重的后果。集成电路中细线的宽度是吸烟时吐出的烟雾颗粒直径的1/3，是一粒灰尘直径的近万分之一。对集成电路而言，哪怕落有一颗烟雾的颗粒，就好像大路上停了一架大型飞机一样，使电子无法通过或造成短路。 新材料开发离不开真空。以分子束外延为**的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段，薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华，在超高真空环境中，薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行，到达衬底成膜;而且由于残留气体少，衬底表面形成的薄膜纯度高。
保持涡轮分子泵平衡性可以确保低振动运转和较佳的轴承耐用性。在正常启动过程中，根据转子动力学，他们通过某种特定的共振频率。如果这些共振频率够刺激真空室、框架或整个系统的固有频率，他们就可以促进频率振幅的提升;在这种频率下，泵开始剧烈振动并发出非常大的声音。频繁在这些共振频率区域运行会导致转子受损，且可能会导致设备或内置振动敏感元件损坏。即便是带有磁轴承的涡轮分子泵也不例外。因此，较好确定系统的固有频率，并就相关数值向制造商进行咨询。通过加固、增加额外重量或变换设计方案等可以避免振动的发生。
