扬州氩气特气管道安装施工

特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。特气管道系统的所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求，并按照标准图集中的要求制作与安装。扬州氩气特气管道安装施工

硅烷管道要求：1.硅烷特气管道安装一般好选择管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内、外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为较大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到较大额定压力之间用氦检漏，理想的系统应该全部是焊接的。2.洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。3.硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。4.在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。湖州工业特气管道安装哪家好管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙。

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为：特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。

管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：1 管道、管件、阀门应有单独的内包装，端口均应装有防尘帽；2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及较大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。在管道安装完成后，进行压力测试，以确保管道的密封性和耐压性。

随着我国经济的不断发展、科技不断自主进步，半导体等对特气有需求的行业领域也在不断扩大，特气管道在我们的日常生活中应用也越加的普遍起来。特气管道一般采用电解研磨方式加工的EP管，充氩气加热处理而成。所以，为了让大家后期在购买特气管道产品之后能够自如的安装，避免安装过程中老是出错。特气系统大致由特气设备、特种气体管道和使用终端三部分组成，其中，特种气体管道工程作为特种气体的供气端和使用端的枢纽，是一项比较重要又危险的工程。弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。金华高纯特气管道安装厂商

管口的加工是本施工技术的关键点之一。扬州氩气特气管道安装施工

管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。2.主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。扬州氩气特气管道安装施工