湖州多组分特气管道安装注意事项

现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁；拆除包装的管道，预制好的管道，管口是不是封好；（管道封口应套上管帽，再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好；如果没有管帽，则采用套一层内包装袋用胶带封好，然后外面再套一层，也用胶带封好。）焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。直管段外层管亦采用弹簧圈支垫，确保双层管夹层空间距离，起到双层管保护作用。湖州多组分特气管道安装注意事项

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纤（气体种类包括SiCl 4 ）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。镇江大口径特气管道安装解决方案应按设计要求或国家标准图集中对管道固定支架的型式进行选择。

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。

供气系统的选择：简单供气系统，简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。弯管加工，常规双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。

特种气体管道安装：特种气体管道下料、预制应符合下列规定：1 工作人员应穿戴洁净服、洁净口罩、洁净无尘手套在洁净室内进行下料、预制等各项操作，不得用裸手接触管口及管道内壁；2 管外径小于或等于1/2”的管道切割应使用不锈钢管切管器，切割后应以平口机处理管口，并应用专门使用倒角器去除管口内外毛刺，管口端面应垂直、不变形，满足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用塑料管割刀替代；3 平口机处理管口时应将管口向下，并应在另一端管口用高纯氮气快速吹扫，不得将刚平口处理的管口向上。特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。金华隐藏式特气管道安装施工

焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。湖州多组分特气管道安装注意事项

特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。湖州多组分特气管道安装注意事项