上海多组分特气管道安装规范

管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：1 管道、管件、阀门应有单独的内包装，端口均应装有防尘帽；2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及较大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。上海多组分特气管道安装规范

尾气处理装置及纯化器的安装10.5.1尾气处理装置安装应符合现行国家标准《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB50231的有关规定。10.5.2尾气处理装置的基础应坚固平整，水平度不得大于3‰。10.5.3每个系统的管线及阀门都应贴上明显的正确标识，阀门应开关灵活，锁定装置应可靠。干式尾气处理装置及纯化器安装时，应防止吸附剂长期接触空气。低蒸汽压特种气体管道施工除应符合本标准第10.6.1条～第10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1 管路应安装伴热带并用保温棉包覆管路；2 当管道穿越温差较大区域时应分段加热。浙江大楼特气管道安装服务商对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。

管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。

施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。施工完毕、测试合格后，应将管道系统内充入0.1MPa(表压)的高纯氮气。说明：本标准用词说明1 为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下：1) 表示很严格，非这样做不可的：正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”；2) 表示严格，在正常情况下均应这样做的：正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”；3) 表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的：正面词采用“宜”，反面词采用“不宜”；4) 表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。2 条文中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合….的规定”或“应按……执行”。管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上。

辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为：特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录。厂房特气管道安装服务商

特气管道安装时，在管子对口前应检查平直度，在距离接口中心200mm处测量。上海多组分特气管道安装规范

特气管道工程安装需要注意以下几点，首先一定要找专业的安装公司，公司必须是拥有建筑安全施工资质和气体管道施工资质的，比如沃飞科技，这就是一家资质非常齐全的公司，另外要找一个能提供系统帮助的公司，包括一定要有良好的售后服务，保证后期出现任何问题都有责任方。为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。上海多组分特气管道安装规范