模型验证是指测定标定后的交通模型对未来数据的预测能力（即可信程度）的过程。根据具体要求和可能，可用的验证方法有:①灵敏度分析,着重于确保模型预测值不会背离期望值，如相差太大，可判断应调整前者还是后者,另外还能确保模型与假定条件充分协调。②拟合度分析，类似于模型标定，校核观测值和预测值的吻合程度。 [1]因预测的规划年数据不可能在现场得到，就要借用现状或过去的观测值，但需注意不能重复使用标定服务的观测数据。具体做法有两种：一是将观测数据按时序分成前后两组，前组用于标定，后组用于验证;二是将同时段的观测数据随机地分为两部分，将用***部分数据标定后的模型计算值同第二部分数据相拟合。交叉验证：交叉验证是一种更为稳健的验证方法。上海优良验证模型价目
交叉验证：交叉验证是一种常用的内部验证方法，它将数据集拆分为多个相等大小的子集，然后重复进行模型构建和验证的步骤。每次选用其中的一个子集用于评估模型性能，其他所有的子集用来构建模型。这种方法可以确保模型验证时使用的数据是模型拟合过程中未使用的数据，从而提高验证的可靠性。Bootstrapping法：在这种方法中，原始数据集被随机抽样数百次（有放回）用来创建相同大小的多个数据集。然后，在这些数据集上分别构建模型并评估性能。这种方法可以提供对模型性能的稳健估计。长宁区口碑好验证模型咨询热线可以有效地验证模型的性能，确保其在未见数据上的泛化能力。
极大似然估计法（ML）是结构方程分析**常用的方法，ML方法的前提条件是变量是多元正态分布的。数据的非正态性可以通过偏度（skew）和峰度（kurtosis）来表示。偏度表示数据的对称性，峰度表示数据平坦性的。LISREL中包含的估计方法有：ML（极大似然）、GLS（广义**小二乘法）、WLS（一般加权**小二乘法）等，WLS并不要求数据是正态的。 [2]极大似然估计法（ML）是结构方程分析**常用的方法，ML方法的前提条件是变量是多元正态分布的。数据的非正态性可以通过偏度（skew）和峰度（kurtosis）来表示。偏度表示数据的对称性，峰度表示数据平坦性的。LISREL中包含的估计方法有：ML（极大似然）、GLS（广义**小二乘法）、WLS（一般加权**小二乘法）等，WLS并不要求数据是正态的。 [2]
因为在实际的训练中，训练的结果对于训练集的拟合程度通常还是挺好的（初始条件敏感），但是对于训练集之外的数据的拟合程度通常就不那么令人满意了。因此我们通常并不会把所有的数据集都拿来训练，而是分出一部分来（这一部分不参加训练）对训练集生成的参数进行测试，相对客观的判断这些参数对训练集之外的数据的符合程度。这种思想就称为交叉验证（Cross Validation） [1]。交叉验证（Cross Validation），有的时候也称作循环估计（Rotation Estimation），是一种统计学上将数据样本切割成较小子集的实用方法，该理论是由Seymour Geisser提出的。监控模型在实际运行中的性能，及时收集反馈并进行必要的调整。
模型检验是确定模型的正确性、有效性和可信性的研究与测试过程。一般包括两个方面：一是验证所建模型即是建模者构想中的模型;二是验证所建模型能够反映真实系统的行为特征；有时特指前一种检验。可以分为四类情况：（1）模型结构适合性检验：量纲一致性、方程式极端条件检验、模型界限是否合适。（2）模型行为适合性检验：参数灵敏度、结构灵敏度。（3）模型结构与实际系统一致性检验:外观检验、参数含义及其数值。（4）模型行为与实际系统一致性检验：模型行为是否能重现参考模式、模型的极端行为、极端条件下的模拟、统计学方法的检验。以上各类检验需要综合加以运用。有观点认为模型与实际系统的一致性是不可能被**终证实的，任何检验只能考察模型的有限方面。 [1]模型检测的基本思想是用状态迁移系统(S)表示系统的行为，用模态逻辑公式(F)描述系统的性质。长宁区口碑好验证模型咨询热线
由于模型检测可以自动执行，并能在系统不满足性质时提供反例路径，因此在工业界比演绎证明更受推崇。上海优良验证模型价目
在进行模型校准时要依次确定用于校准的参数和关键图案，并建立校准过程的评估标准。校准参数和校准图案的选择结果直接影响校准后光刻胶模型的准确性和校准的运行时间，如图4所示 [4]。准参数包括曝光、烘烤、显影等工艺参数和光酸扩散长度等光刻胶物理化学参数，如图5所示 [5]。关键图案的选择方式主要包含基于经验的选择方式、随机选择方式、根据图案密度等特性选择的方式、主成分分析选择方式、高维空间映射的选择方式、基于复杂数学模型的自动选择方式、频谱聚类选择方式、基于频谱覆盖率的选择方式等 [2]。校准过程的评估标准通常使用模型预测值与晶圆测量值之间的偏差的均方根（RMS）。上海优良验证模型价目
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