模型检测(model checking)，是一种自动验证技术，由Clarke和Emerson以及Quelle和Sifakis提出，主要通过显式状态搜索或隐式不动点计算来验证有穷状态并发系统的模态/命题性质。由于模型检测可以自动执行，并能在系统不满足性质时提供反例路径，因此在工业界比演绎证明更受推崇。尽管限制在有穷系统上是一个缺点，但模型检测可以应用于许多非常重要的系统，如硬件控制器和通信协议等有穷状态系统。很多情况下，可以把模型检测和各种抽象与归纳原则结合起来验证非有穷状态系统(如实时系统)。K折交叉验证：将数据集分为K个子集，模型在K-1个子集上训练，并在剩下的一个子集上测试。松江区口碑好验证模型便捷
实验条件的对标首先，要将模型中的实验设置与实际的实验条件进行对标，包含各项工艺参数和测试图案的信息。其中工艺参数包含光刻机信息、照明条件、光刻涂层设置等信息。测试图案要基于设计规则来确定，同时要确保测试图案的几何特性具有一定的代表性。光刻胶形貌的测量进行光刻胶形貌测量时，通常需要利用扫描电子显微镜（SEM）收集每个聚焦能量矩阵（FEM）自上而下的CD、光刻胶截面轮廓、光刻胶高度和侧壁角 [3]，并将其用于光刻胶模型校准，如图3所示。松江区口碑好验证模型便捷防止过拟合：过拟合是指模型在训练数据上表现良好，但在测试数据上表现不佳。
模型解释：使用特征重要性、SHAP值、LIME等方法解释模型的决策过程，提高模型的可解释性。模型优化：根据验证和测试结果，对模型进行进一步的优化，如改进模型结构、增加数据多样性等。部署与监控：将验证和优化后的模型部署到实际应用中。监控模型在实际运行中的性能，及时收集反馈并进行必要的调整。文档记录：记录模型验证过程中的所有步骤、参数设置、性能指标等，以便后续复现和审计。在验证模型时，需要注意以下几点：避免过拟合：确保模型在验证集和测试集上的性能稳定，避免模型在训练集上表现过好而在未见数据上表现不佳。
在进行模型校准时要依次确定用于校准的参数和关键图案，并建立校准过程的评估标准。校准参数和校准图案的选择结果直接影响校准后光刻胶模型的准确性和校准的运行时间，如图4所示 [4]。准参数包括曝光、烘烤、显影等工艺参数和光酸扩散长度等光刻胶物理化学参数，如图5所示 [5]。关键图案的选择方式主要包含基于经验的选择方式、随机选择方式、根据图案密度等特性选择的方式、主成分分析选择方式、高维空间映射的选择方式、基于复杂数学模型的自动选择方式、频谱聚类选择方式、基于频谱覆盖率的选择方式等 [2]。校准过程的评估标准通常使用模型预测值与晶圆测量值之间的偏差的均方根（RMS）。交叉验证：交叉验证是一种更为稳健的验证方法。
线性相关分析：线性相关分析指出两个随机变量之间的统计联系。两个变量地位平等，没有因变量和自变量之分。因此相关系数不能反映单指标与总体之间的因果关系。线性回归分析：线性回归是比线性相关更复杂的方法，它在模型中定义了因变量和自变量。但它只能提供变量间的直接效应而不能显示可能存在的间接效应。而且会因为共线性的原因，导致出现单项指标与总体出现负相关等无法解释的数据分析结果。结构方程模型分析：结构方程模型是一种建立、估计和检验因果关系模型的方法。模型中既包含有可观测的显变量，也可能包含无法直接观测的潜变量。结构方程模型可以替代多重回归、通径分析、因子分析、协方差分析等方法，清晰分析单项指标对总体的作用和单项指标间的相互关系。使用测试集对确定的模型进行测试，确保模型在未见过的数据上也能保持良好的性能。徐汇区优良验证模型价目
评估模型性能：通过验证，我们可以了解模型在未见数据上的表现。这对于判断模型的泛化能力至关重要。松江区口碑好验证模型便捷
模型检测的基本思想是用状态迁移系统(S)表示系统的行为，用模态逻辑公式(F)描述系统的性质。这样“系统是否具有所期望的性质”就转化为数学问题“状态迁移系统S是否是公式F的一个模型”，用公式表示为S╞F。对有穷状态系统，这个问题是可判定的，即可以用计算机程序在有限时间内自动确定。模型检测已被应用于计算机硬件、通信协议、控制系统、安全认证协议等方面的分析与验证中，取得了令人瞩目的成功，并从学术界辐射到了产业界。松江区口碑好验证模型便捷
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