二氧化碳超高纯气体半导体制造

上海弥正超高纯氮气（纯度达 6N 级），专为半导体晶圆加工设计，以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺，将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下，完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体，它能有效隔绝空气与工艺环境接触，防止晶圆表面氧化或污染，保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统，气瓶内壁经电解抛光处理，避免二次污染，气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后，晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%，芯片良率提升 2.8%，连续供应 12 个月无纯度波动问题，完全适配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生产需求，成为半导体产业不可或缺的惰性保护解决方案。

超高纯锗烷纯度达 99.99%，用于红外光学薄膜与半导体制造。二氧化碳超高纯气体半导体制造

上海弥正超高纯氧气（5N 级纯度），兼具医疗与电子制造双重适配性，以 “高纯度 + 低杂质” 满足多元场景需求。采用深度冷冻与吸附提纯工艺，将水分、二氧化碳、一氧化碳等杂质含量控制在 0.5ppb 以下，无异味、无有害污染物，符合医用气体 GB 8982-2024 标准与电子行业 SEMI 标准。在医疗领域，可用于重症患者呼吸疗愈、麻醉辅助与高压氧舱疗愈，提高血氧饱和度，促进患者康复；在电子制造领域，用于 ITO 薄膜溅射沉积，提升显示面板与触摸屏的导电性能与透光率。采用医用与工业特用气瓶分类包装，医用气瓶经无菌处理，工业气瓶配备高精度流量控制装置，支持连续稳定输送。某综合医院应用后，重症患者率提升 10%，氧疗不良反应发生率下降 60%；某电子企业使用后，ITO 薄膜透光率提升 2%，导电性能稳定，完全满足医疗与电子行业的严苛要求。丙烯超高纯气体新能源超高纯氦气（纯度 99.9999%）用作色谱仪载气，保障检测精度。

上海弥正超高纯氪气（5N 级纯度），专为等离子体显示面板（PDP）、照明灯具制造设计，以 “高纯度 + 高发光效率” 提升产品性能。通过多级精馏与吸附提纯工艺，将杂质含量控制在 1ppb 以下，其中氖、氙等杂质含量≤0.2ppb，确保发光性能稳定。在 PDP 显示面板中，作为放电单元填充气体，能提升面板发光亮度与色彩还原度，延长面板使用寿命；在照明领域，用于氪气灯填充，提升灯光色温稳定性与发光效率，节能效果明显。采用小型高压气瓶包装，配备精密流量控制阀门，支持准确供气，气体使用效率提升 30%。某显示设备企业应用后，PDP 面板发光亮度提升 15%，色彩还原度接近 100%；某照明企业使用后，氪气灯使用寿命延长 2 倍，能耗降低 20%，完全满足显示与照明产业的性能升级需求。

上海弥正专为极端低温环境打造的超高纯气体系列，以 “低温稳定性 + 防冷凝设计” 满足航天、冷链物流等特殊场景需求。该系列气体（涵盖氮气、氦气、氩气等）纯度均达 6N 级以上，在 - 196℃至 - 50℃的极端低温环境下，仍能保持稳定的物理性质，无组分分离或纯度衰减现象，低于 - 90℃，避免在低温下形成冷凝水造成设备损坏。针对航天领域，开发了火箭燃料系统用超高纯氦气，在 - 253℃的液氢燃料环境中仍能保持气态，用于系统加压与检漏，检漏灵敏度达 1×10⁻¹²Pa・m³/s；针对冷链物流，提供超高纯氮气与二氧化碳的混合气，用于生鲜食品的低温气调保鲜，可将保鲜期延长 2-3 倍。采用特制的绝热气瓶包装，配备低温 - resistant 阀门与压力监测装置，确保在低温存储与运输过程中的安全性与密封性。某航天科技集团应用后，火箭燃料系统的检漏准确率达 100%，发射前的地面测试效率提升 30%；某冷链物流企业使用后，进口生鲜的损耗率从 12% 降至 3%，经济效益明显。超高纯氮气（纯度≥99.999%）用作半导体制造保护气，防止芯片加工时氧化。

上海弥正超高纯氙气（6N 级纯度），凭借 “优越的 X 射线吸收能力 + 放射性杂质”，成为医疗成像与前沿科学探测领域的不可替代材料。通过多级精馏与精密提纯工艺，将总杂质含量控制在 0.1ppm 以下，其中对成像质量影响重大的总烃杂质≤10ppb，具有放射性的氡杂质更是被控制在 1ppb 以下，达到暗物质探测的严苛标准。在医疗领域，作为 CT 机的氙气探测器填充气体，其强大的 X 射线吸收能力能明显提升影像的清晰度与对比度，帮助医生精细识别微小病灶，减少误诊率；在高能物理领域，是大型暗物质探测器的重心工作介质，其超高纯度可比较大限度降低背景干扰，确保探测数据的准确性。采用特制的高压无缝气瓶包装，瓶体经严格的气密性与抗压测试，符合 GB 5099《钢质无缝气瓶》标准，保障储存与运输安全。某医疗设备企业应用后，其生产的 CT 机影像分辨率提升 40%，微小病灶检出率提高 25%；某科研院所在暗物质探测实验中使用该气体，成功捕捉到关键信号，实验进程大幅加速。超高纯氚气（杂质≤0.1ppm）用于核工业与放射性检测设备。二氧化碳超高纯气体半导体制造

超高纯三氟化氮（杂质≤1ppm）用作半导体清洗，高效去除光刻胶残留。二氧化碳超高纯气体半导体制造

上海弥正构建从生产到终端使用的全链条超洁净保障体系，通过包装与输送系统，确保超高纯气体全程无二次污染。气瓶选用 316L 不锈钢材质，经一体锻造与电解抛光处理，内壁粗糙度≤0.1μm，无卫生死角，避免杂质吸附与气体污染；阀门采用进口超洁净隔膜阀，密封性能优异，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，确保气体储存过程中无泄漏与纯度衰减。输送管道采用 316L 不锈钢无缝管，经钝化与脱脂处理，管道连接采用卡套式接头，无螺纹污染风险，输送过程中气体颗粒杂质含量≤1 颗 /μm。提供定制化的管道铺设与系统集成服务，根据客户车间布局与设备需求，设计比较好输送路径，减少管道阻力与气体滞留；配备在线纯度监测装置，实时监控输送过程中气体纯度变化，一旦出现异常立即自动切断供应，保障终端气体品质。某电子企业应用该系统后，气体终端使用纯度达标率 100%，设备因气体污染导致的故障率下降 80%，大幅提升生产连续性。二氧化碳超高纯气体半导体制造

上海弥正气体有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，上海弥正气体供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！