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用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单，只要对将上游气溶胶浓度设置为基准，下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%)，则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%)，或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% )，则应该直接更换过滤器。洁净室以空气悬浮粒子浓度为主要控制对象。浙江检测值得推荐

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洁净室噪声检测设备声级计的结构

声级计由传声器、放大器、衰减器、计权网络、检波器、对数变换器、示波器、声级记录仪及显示仪表等部分组成。

(1)传声器。传声器是把声压信号转变为电压信号的装置，也称为话简，它是声级计的传感器。常见的传声器有晶体式、驻极体式、动圈式和电容式数种。

(2)放大器和衰减器。一般采用两级放大器，即输人放大器和输出放大器，其作用是将微弱的电信号放大。输人衰减器和输出衰减器是用来改变输人信号的衰减量和输出信号衰减量的，以便使表头指针指在适当的位置。输人放大器使用的衰减器调节范围为测量低端，输出放大器使用的衰减器调节范围为测量**。许多声级计的高低端以70 dB为界限。

(3)计权网络。为了模拟人耳听觉在不同频率有不同的灵敏性，在声级计内设有种能够模拟人 耳的听觉特性，把电信号修正为与听感近似值的网络，这种网络叫作计权网络。通过计权网络测得的声压级，已不再是客观物理量的声压级( 线性声压级)，而是经过听感修正的声压级，叫作计权声级或唱吉绍

高效过滤器在检漏前，应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时，上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响，高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下，能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时，扫描速度应在5~8 m/s。

检测是验证洁净室是否达标的一个指标。

通过测量特定光路下气溶胶引起的散射光强就能达到检测气溶胶浓度的目的。与粒子计数器不同，气溶胶光度计并不是根据颗粒引起的光学脉冲数量计算颗粒的数量，而是根据气溶胶的光散射强度来直接计算气溶胶浓度。因此，气溶胶光度计可以直接检测气溶胶浓度较大的环境，而尘埃粒子计数器在检测该环境时则需要串联稀释器对粒子计数器进行保护。由于在气溶胶浓度很低的空气中气溶胶光度计的相对误差会增加，因此在进行高效过滤器泄漏检测时，光度计法适用于较高的气溶胶浓度环境。蔚亚科技第三方检测检测结果真实可靠。浙江检测值得推荐

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使用粒子计数器进行洁净室洁净度检测

操作准备

检测前应对洁净室及其空气净化系统进行彻底的清洁，应验证洁净室或洁净区白各方面设施都是完备的，而且运行正常，符合设计的技术性能要求。在洁净度检测自应先完成其他检测工作(一般包括送风量检测、压差检测、隔断结构气密性检测、品效过滤器完整性检测)。

操作步骤

步骤1采样点的确定

计算房间面积，根据规范确定采样点数量，并将采样点均匀分布在整个洁净室或洁净区内，并根据实际情况绘制采样点布置图。采样点一般布置在离地0.8m 的水平面上，若采样点在洁净工作台上，则- -般布置在工作台面上0.2m的水平面上。

步骤2仪器的安装

将仪器放置在采样点位置，拔下取样口的保护套，用皮管连接取样口和采样头，连通电源，按“电源键”开机。

步骤3自净

将自净器插在采集口上，点击采样图案，然后点击“开始”进行自净，直到仪器计数显示为0 (10 min之内)。

步骤4洁净度检测

自净完成后，将仪器放在1个点位，开始进行采集，直至第1个点所有次数全部检测完成，将仪器移至第二个点，重复直到***点的所有次数全部测完。 检测结束后，将仪器进行自净后再关机，自净操作和步骤三一致。  浙江检测值得推荐