在测量工作中会遇到各种标准量,如长度、质量、时间、温度、电流等。在洁净室检测技术中,经常碰到的被测量有风速、风量、温度、压力、湿度、噪声、洁净度等。
检测技术在科学研究和工程运用中有非常重要的地位,任何工作都需要通过检测才能确定工作的质量和数量,因此专门从事检测工作的人员需要熟练掌握检测技术。从事洁净室建造的人员也需要掌握一些 检测技术的基础知识和基本原则。洁净室检测技术的应用范围广,包括建造洁净室原材料的检测、洁净室用仪器设备的检测、洁净室建成后调试的检测、洁净室竣工验收的检测、洁净室运行过程中的检测。检测工作贯穿洁净室筹备、建造、应用的全过程。
上海蔚亚科技保证洁净室及相关环境达到受控标准。湖南排风柜检测方便客户
用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单,只要对将上游气溶胶浓度设置为基准,下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%),则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%),或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% ),则应该直接更换过滤器。河北实验室检测方便客户在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化。
通过测量特定光路下气溶胶引起的散射光强就能达到检测气溶胶浓度的目的。与粒子计数器不同,气溶胶光度计并不是根据颗粒引起的光学脉冲数量计算颗粒的数量,而是根据气溶胶的光散射强度来直接计算气溶胶浓度。因此,气溶胶光度计可以直接检测气溶胶浓度较大的环境,而尘埃粒子计数器在检测该环境时则需要串联稀释器对粒子计数器进行保护。由于在气溶胶浓度很低的空气中气溶胶光度计的相对误差会增加,因此在进行高效过滤器泄漏检测时,光度计法适用于较高的气溶胶浓度环境。
洁净室压差的基本概念及检测意义
洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差,必要的压差是控制漏气方向的手段,是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房,不允许室内空气向室外泄漏。
为了控制区域之间的漏气方向,对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外,或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室,或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室,生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以,测定宿净室的气压差很重要。
压差检测的目的是测定洁净室的静压差,它可以是正压或负压,以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时,相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙,将会造成空气泄漏,严重时会使洁净室内的气流紊乱,所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。
静态:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室,但是设施内没有操作人员。
风速风量换气次数
洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越明显,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。 蔚亚专注于环境检测。浙江消毒液净化车间环境检测
其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。湖南排风柜检测方便客户
噪声的检测
1一般情况下可只检测A声级的噪声,必要时可采用带倍频程分析仪的声级仪,按中心频率63、125、 250、 500、 1000、2000、40000 800Hz的倍频程检测,测点附近1m内不应有反射物。声级计的较小刻度不宜低于0. 2dB (A)。
2测点距地面高1. lm。面积在15m2以下的洁净室,可只测室中心1点,15m2 以上的洁净室除中心1点外,应再测对角4点, 距侧墙各1m,测点朝向各角。
3当为混合流洁净室时,应分别测定单向流区域、非单向流区域的噪声。
4 有条件时,宜测定空调净化系统停止运行后的本底噪声,室内噪声与本底噪声相差小于10dB (A)时,应对测点值进行修正:相差(6~9) dB (A)时减1dB (A),相差(4~5)dB(A)时减2dB(A),相差3dB(A)时减3dB,相差小于3dB(A)时测定值无效。 湖南排风柜检测方便客户
1.洁净室尘埃粒子检测原理与实践尘埃粒子检测是洁净室检测的**项目之一。其检测原理基于光散射理论,当空气中的尘埃粒子通过激光光束时,会产生光散射现象,散射光的强度与粒子的大小和数量相关。检测仪器通过捕捉这些散射光信号,将其转换为电信号进行分析,从而得出单位体积空气中不同粒径尘埃粒子的数量。在实际检测中,需严格按照标准规范进行操作。首先要对检测仪器进行校准,确保测量数据的准确性。然后根据洁净室的面积和功能区域划分采样点,每个采样点的采样时间和采样量都有明确要求。例如,对于ISO5级洁净室,需在多个采样点采集一定体积的空气样本,对0.3μm、0.5μm等不同粒径的尘埃粒子数量进行统计。检测过程中要...