安徽洁净工作台检测规范性强

工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家，主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样， 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到，仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首，于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的，随着原子武器研究和生化武器研究的发展，在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用，20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室，这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑，奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路得到迅猛发展。 蔚亚科技检测技术严格按照国家标准及行业标准严格执行。安徽洁净工作台检测规范性强

沉降菌测定法：

沉降菌指落在地面或物体表面的灰尘中携带的细菌。在无菌操作台开启的状态下，取内径90毫米的无菌培养皿若干，无菌操作分别注入融化并冷却至45℃的营养琼脂培养基越15毫升，倒置于30~35℃培养箱培养48小时，证明无菌后备用。

将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在指定区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿)，在空气中暴露30分钟，采集沉降菌，盖好平皿盖儿，置30-35℃培养箱内培养48小时，取出计数，车间内应为操作状态。检测沉降菌数量，每碟小于或等于10个，便能达到10万级净化车间标准。

回风管道或回风口设计、调试不好

在设计方面的原因，有时因空间所限未能采用“顶送侧回”或者回风口数量不够，在设计方面的原因排除后，回风口的调试也是重要的工工环节。如果调试不好，回风口阻力过大，回风量小于送风量，也会造成洁净度不合格。另外在施工中，回风口离地面的高度对洁净度也有影响。

净化空调系统没有清扫干净

净化工程在施工过程中，整个净化空调系统，尤其是送、回风管道都不是一次完成，施工人员和工环境都会造成通风管道和过滤器的污染。如不清洁干净，将直接影响净化工程的检测结果。改进措施是，边施工边清洁，面前一段管道安装完成彻底清洁后，可用塑料薄膜密封，避免环境等造成的污染。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

洁净室照度检测、噪音检测——上海蔚亚科技。

压差

这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界较远的里间房间开始，依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区)，其洞口处宜有合理的气流流向等等。

压差检测要求：

(1)静压差的测定要求在洁净区内的所有门全部关闭情况下进行。

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。

(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。

(4)所测量记录的数据应精确到 1.0Pa。

压差检测步骤：

(1)先关闭所有的门。

(2)用微差压计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

(3)记录所有数据。 蔚亚作为洁净室检测第三方，针对洁净室检测项目不达标出现的常见问题以及产生的原因，在此与大家分享。辽宁实验室检测认真负责

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高效、超高效过滤器效率检测方法

(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧，将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号，并由光电测量仪器检测，电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度，用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。

(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。

(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相，以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计，测量的值是受试过滤器前后的浊度差，并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。

(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写，可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 安徽洁净工作台检测规范性强