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1.洁净室围护结构

围护结构是由土建材料现场构筑或由工厂预制的构件构筑,包括洁净厂房的土建结构和在土建结构内分隔出洁净室的建筑装修部分。除了合理的平、剖面规划布置外,为满足洁净要求的建筑和装修构造节点的设计和制作也是重要的构成部分。

2.空气净化系统

除了要满足工艺要求的室内温湿度外,净化空调系统的明显特点是根据需要采用多级空气过滤器、保证足够的风量和有序的压力控制等。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用,末端高效过滤器安装的密封性不可忽视。

3.附属设备

为保证洁净室的使用,应有合理的人流物流路线和合格的人物净化设施,如空气吹淋、传递窗等。此外,还有为工艺需要所敷设的其他工艺管线、用于监测洁净室洁净度级别和压力的相关仪器等。




洁净室气密性、紫外辐射照度测试——上海蔚亚科技。浙江洁净工作台检测诚信推荐

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《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。


实验室环境检测认真负责在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化。

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1.洁净室的基本参数

(1)洁净度。洁净度是指单位体积的空气中不小于某一 粒径的微粒个数。洁净度等级分为1 ~9级。

(2)微生物浓度。微生物浓度是指单位体积的空气中微生物的个数。微生物包括***、细菌、***等,种类繁多。

(3)温度。温度方面要满足工作人员舒道性要求, 另一方面会影响加工的精响度,甚至会影响仪器的参数,从而造成检测误差。而且湿度过大会造成金属腐蚀、

(4)湿度。湿度也是影响工作人员舒适性的条件,电路短路、细菌滋生。

(5)风速与风量。足够的风速与风量是洁净度的保证;过大的风速与风量不仅浪费能量,而且有时会影响洁净室生产设备的正常工作。

(6)气压与压差。控制压差是控制**气方向的手段。般洁净室为 了保证洁净度,不允许低洁净度的空气向高洁净度区城泄涮。而***实验室或传染病房,为了安全考虑不允许室内空气向室外泄漏。

(7)照度。照度是满足正常生产工作的必要条件。

(8)噪声。噪声会影响人员的身体健康。

2.洁净室的特殊参数

(1)振动。振动-方面影响设备的加工精确度,另方面会影响仪器的检测精度。

(2)有害气体浓度。有害气体的种类繁多,有的会损害人体健康,有的会影响产品质量和产品的合格率。洁净室需要控制有害气体浓度。

高效过滤器在检漏前,应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时,上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响,高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下,能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率,少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描,此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时,扫描速度应在5~8 m/s。


洁净室环境检测依据行业标准及国家标准。

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噪声的检测

1一般情况下可只检测A声级的噪声,必要时可采用带倍频程分析仪的声级仪,按中心频率63、125、 250、 500、 1000、2000、40000 800Hz的倍频程检测,测点附近1m内不应有反射物。声级计的较小刻度不宜低于0. 2dB (A)。

2测点距地面高1. lm。面积在15m2以下的洁净室,可只测室中心1点,15m2 以上的洁净室除中心1点外,应再测对角4点, 距侧墙各1m,测点朝向各角。

3当为混合流洁净室时,应分别测定单向流区域、非单向流区域的噪声。

4 有条件时,宜测定空调净化系统停止运行后的本底噪声,室内噪声与本底噪声相差小于10dB (A)时,应对测点值进行修正:相差(6~9) dB (A)时减1dB (A),相差(4~5)dB(A)时减2dB(A),相差3dB(A)时减3dB,相差小于3dB(A)时测定值无效。 蔚亚科技出具检测报告具有可靠性。实验室环境检测认真负责

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用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单,只要对将上游气溶胶浓度设置为基准,下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%),则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%),或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% ),则应该直接更换过滤器。浙江洁净工作台检测诚信推荐

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