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风量仪操作步骤

步骤1打开风量仪电源， 将风量仪倒扣在地板上，在无风地点进行风量仪校零工作，上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。

步骤2按屏幕 上的测量键进人待测房间号码的输入界面。输人完再次按测量键进人检测界面。

步骤3复零校准结束之后， 直接将风量仪的开口完全罩住过滤器或者散流器，并检查是否存在泄漏。风量仪的接触面应为平面，以防止气流旁通和读数不准确。

步骤4查看风量仪的读 数是否超过风量仪的比较大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

步骤5稳定10s后即可读取风量仪上的数值，并记录。

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1.洁净室的基本参数

(1)洁净度。洁净度是指单位体积的空气中不小于某一 粒径的微粒个数。洁净度等级分为1 ~9级。

(2)微生物浓度。微生物浓度是指单位体积的空气中微生物的个数。微生物包括***、细菌、***等，种类繁多。

(3)温度。温度方面要满足工作人员舒道性要求， 另一方面会影响加工的精响度，甚至会影响仪器的参数，从而造成检测误差。而且湿度过大会造成金属腐蚀、

(4)湿度。湿度也是影响工作人员舒适性的条件，电路短路、细菌滋生。

(5)风速与风量。足够的风速与风量是洁净度的保证;过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响洁净室生产设备的正常工作。

(6)气压与压差。控制压差是控制**气方向的手段。般洁净室为 了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区城泄涮。而***实验室或传染病房，为了安全考虑不允许室内空气向室外泄漏。

(7)照度。照度是满足正常生产工作的必要条件。

(8)噪声。噪声会影响人员的身体健康。

2.洁净室的特殊参数

(1)振动。振动-方面影响设备的加工精确度，另方面会影响仪器的检测精度。

(2)有害气体浓度。有害气体的种类繁多，有的会损害人体健康，有的会影响产品质量和产品的合格率。洁净室需要控制有害气体浓度。 洁净室环境检测规范性强洁净室气密性、紫外辐射照度测试——上海蔚亚科技。

洁净室压差 与风量的关系

洁净室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当维持送人洁净室内的空气量适当多于机械回风和机械排风量，可维持室内一定的正压值。但洁净空调系统过滤器积尘造成新风、送风管道用力增加影响风量，与楼道、室外相邻的治冲室也会因热压、凤压变化影响房间的正压，因此洁净室压差雷经常进行检测。

为防止污染物透过围护结构健腺侵人清净室，洁净室及洁净设施的围护结构应有良好的气密性，同时和不清洁的周边环境要维持一-定的正压差。 洁净室的正压是靠送风与回风和排风的差值实现的。

《洁净厂房设计规范》(CB 50073- -2013) 中对洁净室的压差控制规定:洁净室与周围的空间必须维持一定的压差， 并按生产工艺要求决定维持正压差或负压差;不同级别洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5 Pa,洁净室与室外的压差应不小于10Pa。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

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高效过滤器在检漏前，应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时，上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响，高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下，能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时，扫描速度应在5~8 m/s。

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。广东洁净室环境检测服务至上

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洁净度检测的意义

在洁净室或洁净区的检测参数中，洁净度是主要的参数，也是建设单位关心的参数，尤其是运行状态下的洁净室空气洁净度等级，即生产设备运转及操作人员在场的工作状态时的检测结果( 动态检测结果)。但施工单位通常希望在空态下进行检测，因此洁净室在检测之前要明确洁净室的占用状态是空态、静态还是动态。

空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

动态测试：洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

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