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光度计法（GB50591-2010）

1被检漏过滤 器必须已测过风量，在设计风速的80%~120%之间运行。

2在同一 送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

3当几台 或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引人检漏用气溶胶，并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

4对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的10倍。当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80) pg/L. 浓度低于20ug/L会降低检漏灵敏度，高于80pg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~-100) ug/L 的测量范围。

5对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0,01%，即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点， 静止检测时，如测得透过率高于0,01%，即认为该点为漏点。 空态：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。浙江消毒液净化车间环境检测方便客户

洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

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非单向流洁净室的风速检测要求

非单向流洁净室的风速检测一般检测风口风量。 内安装过滤器的风口采用与检测风速计算风量时相同的套管法或风管法。检测时，风口上的任何配件、饰物律保持原样。

选用套管法时，可用轻质板材或膜材做成与风口内截面相同或相近、长度大于2倍风口边长的直管段作为辅助风管，连接于过滤器风口外部，在套管出口平面均匀划分小方格，方格边长不大于200 mm,在方格中心设测点，不少于6点。

对于风口，上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时，可用风管法。检测断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件后者，距离局部阻力部件不少于5倍管径或5倍长边;在局部阻力部件前者，距离局部阻力部件不少于3倍管径或3倍长边。对于矩形风管，检测截面应按奇数分成纵横列，再在每一列上分成若干个相等的小截面，每个小藏面宜接近正方形，边长比较好不大于200 mm,测点位于小截面中心，测点数不宜少于6个。对于圆形风管，应按等面积圆环法划分检测截面并确定测点数。

工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家，主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样， 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到，仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首，于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的，随着原子武器研究和生化武器研究的发展，在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用，20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室，这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑，奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路得到迅猛发展。 动态：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员。

沉降菌测定法：

沉降菌指落在地面或物体表面的灰尘中携带的细菌。在无菌操作台开启的状态下，取内径90毫米的无菌培养皿若干，无菌操作分别注入融化并冷却至45℃的营养琼脂培养基越15毫升，倒置于30~35℃培养箱培养48小时，证明无菌后备用。

将已铺有营养琼脂培养基的培养皿放在指定区域距地面约1米的规定处(一般每10平方米放置一个平皿)，在空气中暴露30分钟，采集沉降菌，盖好平皿盖儿，置30-35℃培养箱内培养48小时，取出计数，车间内应为操作状态。检测沉降菌数量，每碟小于或等于10个，便能达到10万级净化车间标准。

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洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 浙江消毒液净化车间环境检测方便客户