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 空气洁净技术的发展历程

空气洁净技术(又称洁净技术或洁净室技术)初是指以控制室内空气中悬浮赖科浓度为目标的相关技术。悬浮颗粒物的浓度用单位体积空气中大于等于某一粒径的颗粒物的允许数量来表示，通常也称为空气的洁净度，并以此来划分洁净度等级。

初运用洁净技术是为了提高精密产品(如仪器仪表)的成品率或降低其故障率。随着科学技术的发展，各种工业产品特别是微电子产品的精密度越来越高，对生产环境的洁净度要求也越来越高，控制的对象也从单一的悬浮颗粒物扩 展到有害气体。洁净技术在控制空气中的悬浮颗粒物的同时，也有效地控制了空气中的细的和有害微生物，所以又逐步推广到医疗、制药、生物等领域，形成了当前比较完善的洁净技术体系。 上海蔚亚检测净化设备：洁净工作台。浙江实验室检测规范性强

光度计法（GB50591-2010）

1被检漏过滤 器必须已测过风量，在设计风速的80%~120%之间运行。

2在同一 送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

3当几台 或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引人检漏用气溶胶，并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。

4对于高效过滤器，当检漏仪表为对数刻度时，上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的10倍。当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80) pg/L. 浓度低于20ug/L会降低检漏灵敏度，高于80pg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~-100) ug/L 的测量范围。

5对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0,01%，即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点， 静止检测时，如测得透过率高于0,01%，即认为该点为漏点。 广东洁净室检测技术好检测是验证洁净室是否达标的一个指标。

洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

高效过滤器在检漏前，应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时，上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响，高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下，能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时，扫描速度应在5~8 m/s。

静态：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室，但是设施内没有操作人员。

在进行清净室压差检测之前高效过速器检顢和风量检测已结束，洁净室波洁净设施正常工作，应该关闭的门窗全部关团的条件下，先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符，调整新风和回风的比例。在此前提下，再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从里面的房间，通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起，如此继续下去，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。上海蔚亚科技检测服务发现问题解决问题。安徽洁净室环境检测认真负责

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洁净室压差 与风量的关系

洁净室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当维持送人洁净室内的空气量适当多于机械回风和机械排风量，可维持室内一定的正压值。但洁净空调系统过滤器积尘造成新风、送风管道用力增加影响风量，与楼道、室外相邻的治冲室也会因热压、凤压变化影响房间的正压，因此洁净室压差雷经常进行检测。

为防止污染物透过围护结构健腺侵人清净室，洁净室及洁净设施的围护结构应有良好的气密性，同时和不清洁的周边环境要维持一-定的正压差。 洁净室的正压是靠送风与回风和排风的差值实现的。

《洁净厂房设计规范》(CB 50073- -2013) 中对洁净室的压差控制规定:洁净室与周围的空间必须维持一定的压差， 并按生产工艺要求决定维持正压差或负压差;不同级别洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5 Pa,洁净室与室外的压差应不小于10Pa。 浙江实验室检测规范性强