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1工艺平面布置应合理、紧凑。洁净室或洁净区内应只布置必要的工艺设备，以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。2在满足生产工艺和噪声要求的前提下，对空气洁净度要求严格的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置。3洁净室内对空气洁净度要求严格的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。4应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。5不同空气洁净度等级房间之间联系频繁时，宜设有防止污染的措施，如气闸室、传递窗等。6应设置单独的物料入口，物料传递路线应极短，物料进人洁净室（区）之前应进行清洁处理。安装验证和操作验证完成并进行确认工作后即进行性能验证。上海电子厂房环境检测方便客户

人们认为这种单向、平行的气流应该充满整个洁净室，但这在技术和经济上都是不利的。随着知识的发展，人们指出这种单向流动只是“意味着所有的空气在有限的区域内沿着平行的流线匀速流动”，相信涡流的发生可以被尽可能的抑制。尽可能。以通过整个空间的洁净空气的单向流动特性为主的房间也称为单向流动洁净室。也就是说，不需要在整个房间内有单向平行流线、匀速、无涡流，而只需要单向平行流特性来支配房间，例如整个工作区水平空间保证单向流动，本房间为单向流动洁净室。前面介绍的国内外相关标准和措施中单向流洁净室所达到的高洁净度是指工作区域所达到的洁净度。因此，密集布置的流线型扩压器顶部进料和全孔板顶部进料也被用作实现垂直单向流动的手段。洁净工作台检测值得推荐洁净室内的照明设备需定期清洁，避免成为污染源。

14.2.1洁净厂房的平面、空间布置时，应根据噪声控制要求布置，宜集的的中布置发声设备。14.2.2洁净室（区）内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过规定的设备，应根据设备的特性、外形尺寸等因素，采取降低声源噪声的隔声设施。洁净室的围护结构应具有良好的隔声性能。14.2.3净化空调系统、公用动力设备和输送管道等洁净厂房的主要噪声源，应采取隔声、消声、隔振等噪声控制措施。空调机房、动力站房宜采取下列措施。

4.1.1洁净厂房位置选择应符合下列规定，并经技术经济方案比较后确定：1应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域。2应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。当不能远离严重空气污染源时，应位于比较大频率风向上风侧，或全年极小频率风向下风侧。3应布置在厂区内环境清洁，人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定。4.1.3洁净厂房新风口与交通干道边沿的极近距离宜大于50m。4.1.4洁净厂房周围宜设置环形消防车道，也可沿厂房的两个长边设置消防车道。4.1、5洁净厂房周围的道路面层应选用整体性能好、发尘少的材料。4.1.6洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物，并不得妨碍消防作业。有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。

6.2.1洁净室（区)与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。6.2.2不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。6.2.3洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。6.2.4送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相反。负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。6.2.5非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间空气的计数含尘浓度来表示。湖北电子厂房环境检测方便客户

定期进行光照度检测，确保工作区域光线充足且均匀。上海电子厂房环境检测方便客户

洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中，尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求比较高，因为现今的晶圆已经发展到奈米级的水准，随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损，甚至导致这个晶圆必须报废。无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外，还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力，这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。上海电子厂房环境检测方便客户