7.3.1洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室(区)面积较小或只有局部要求净化时,宜采用分散式净化空调系统。7.3.2洁净厂房的洁净室(区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室(区)使用功能和降低能量消耗的要求,经技术经济比较,采用运行经济、节约能源的送风方式。无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外,还分成正压无尘室与负压无尘室。北京无尘室检测标准
11.4.1生物安全柜内如有气管和水管,应同时安装完毕。11.4.2当多台生物安全柜的排风支管与竖井内封闭的排风立管相连接时,支管应采用防回流装置,并应从立管入口后向上伸人**少0.6m。11.4.3生物安全柜安装就位之后,连接排风管道之前,应对高效过滤器安装边框及整个滤芯面扫描检漏。当为零泄漏排风装置时,应对滤芯面检漏。11.4.4在采用压力相关的手动调节阀定风量系统中,当多台安全柜排风并联时,整个系统在安全柜安装后应重新平衡,采用压力无关的风量平衡阀时可不做此项平衡。11.4.5生物安全柜安装并检漏之后,应进行下列现场检验.江苏排风柜无尘室检测周期洁净厂房中以水平构件分隔构成的空间,用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。
16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定:在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时,除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外,还应在系统和该装置正常运转条件下,检测室内臭氧浓度。应按附录E检验,结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16mg/m3的规定。16.4.23二氧化碳浓度的检测应符合下列规定:当对新风效果作细致确认时,可在风系统正常运行、室内处于动态条件下,于每一班次结束之前检测室内二氧化碳浓度,按附录E检验,结果应符合设计要求。当设计无明确要求时,应符合现行国家标准《空内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10%的规定。16.4.24当需要测定分子态污染物浓度时,可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测,结果应符合设计要求或双方商定的标准。
6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局,应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生产规模的要求确定。6.1.2洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不应采用内墙承重体系。6.1.3洁净厂房的立面设计应简洁、明快,并应适应洁净室(区)的布置要求。洁净厂房围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘、易清洁等要求。6.1.4洁净厂房主体结构的耐久性应与电子产品生产线设备、生产环境控制设施协调,并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造,应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。凡不符合单向流定义的气流。
10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气,其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统,应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素,经技术经济比较后确定。10.1.3洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统,除应符合本规范外,还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB50177和《氧气站设计规范》GB50030等的有关规定。10.1.4洁净厂房内的气体管道的干管,应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时,比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部,比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的方式下进行,并且有人员按照规范操作。江苏过滤器无尘室检测报告
室内空气的流动形态和分布。北京无尘室检测标准
10.3.1洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定,并应符合下列规定:1供气规模应按产品生产所需供气量和计人必要损耗量确定,并应设有一定的备用供气量;2供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;3供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;4应选用能耗少、噪声低的设备,宜选用无油润滑空气压缩机,5含水量要求严格时,宜选用加热再生吸附干燥装置。北京无尘室检测标准
无尘室检测是确保无尘室环境符合特定洁净标准的关键环节,其重要性在微电子、医药、食品等对洁净度要求极高的行业中尤为凸显。检测工作涵盖多个维度,从空气中尘埃粒子的数量到微生物的含量,从气流的组织形式到温湿度的控制,每一项指标都直接影响着无尘室的使用效果。通过科学、规范的检测,能够及时发现无尘室运行过程中存在的问题,为后续的维护和改进提供依据,从而保障生产或实验活动的顺利进行。在无尘室检测中,尘埃粒子检测是**基础也是**重要的项目之一。检测人员需使用专业的尘埃粒子计数器,按照既定的检测规程,在无尘室的不同区域(如工作区、设备上方、人员活动频繁区域等)进行多点采样。每个采样点的采样时间和采样量都有严...