北京半导体净化车间无尘室检测方法

10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气，其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统，应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素，经技术经济比较后确定。10.1.3洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统，除应符合本规范外，还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB50177和《氧气站设计规范》GB50030等的有关规定。10.1.4洁净厂房内的气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时，比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部，比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。无尘室创造了一个几乎不含微尘和有害物质的特殊空间，为高精密制造、敏感实验和科研工作提供了理想的环境。北京半导体净化车间无尘室检测方法

5.5.6在回、排风口上安有高效过滤器的洁净室及生物安全柜等装备，在安装前应用现场检漏装置对高效过滤器扫描检漏，并应确认无漏后安装。回、排风口安装后，对非零泄漏边框密封结构，应再对其边框扫描检漏，并应确认无漏；当无法对边框扫描检漏时，必须进行生物学等专门评价。5.5.7当在回、排风口上安装动态气流密封排风装置时，应将正压接管与接嘴牢靠连接，压差表应安装于排风装置近旁目测高度处。排风装置中的高效过滤器应在装置外进行扫描检漏，并应确认无漏后再安入装置。北京半导体净化车间无尘室检测方法无尘室在各个行业中都有应用，尤其是需要对空气粒子进行控制的环境和行业。

二无尘车间净化工程用途无尘车间的洁净度通常遭到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所发作的尘土之移动、分散遭到气流的分配。简单些说，就是通过净化体统将室外脏的空气与室内干净的空气隔离开，从而净化室内空气。有利于各类产品设备医疗及食品的生产制作和加工。什么是无尘车间净化工程无尘车间净称为无尘室或室。是指将一定空间范围内之空的微粒子、有害空气、细污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

无尘室净化车间管理规范1、进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入，物料进入，各类设备的搬入以及相关的设备，管线的维护管理，应做到不得将微粒，微生物带人洁净室2、操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作的制作，穿着和其清洗，操作人员的移动和动作，室内设备及装修材料的选择和清扫，灭菌等，尽可能减少，防止洁净室内尘粒，微生物的产生，滞留，繁殖等3、严格各类设备，设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备，设施按要求正常运转，包括净化系统，各类水，气，电系统。无尘室的存在对于许多前沿科技的发展起着至关重要的作用。

15.5.1施工材料在运输、储存和施工过程中，应采取包裹、覆盖、密闭、围挡等措施，防止污染环境。15.5.2施工过程中应做到当天施工当天清理现场，并有专人负责的制度。在完成了高效过滤器安装、地面墙面的装饰工作之后，洁净室内不应再进行产尘、扬尘作业。15.5.3应根据环保噪声标准昼夜要求的不同，合理协调安排施工分项的施工时间。15.5.4施工完成后根据需要可进行环保测评。15.5.5施工组织设计应包括施工节能内容，编制施工节能方案，并经监理(建设)单位审查批准，对从事施工节能作业的专业人员应进行技术交底和必要的实际操作培训。15.5.6采取节约用电、用水措施，施工用电、用水应安装计量装置。一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力。静电无尘室检测公司

国内按空态、静态、动态对无尘车间进行测试。北京半导体净化车间无尘室检测方法

16.4.22臭氧浓度的检验应符合下列规定：在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时，除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外，还应在系统和该装置正常运转条件下，检测室内臭氧浓度。应按附录E检验，结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16mg/m3的规定。16.4.23二氧化碳浓度的检测应符合下列规定：当对新风效果作细致确认时，可在风系统正常运行、室内处于动态条件下，于每一班次结束之前检测室内二氧化碳浓度，按附录E检验，结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《空内空气质量标准》GB/T18883不大于0.10％的规定。16.4.24当需要测定分子态污染物浓度时，可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测，结果应符合设计要求或双方商定的标准。北京半导体净化车间无尘室检测方法