C.1.3已装过滤系统其过滤器检漏C.1.3.1**的检测项目,对安装的过滤器进行检漏。C.1.3.2调试过程中承建商的检测已获得业主认可,在紧接着的洁净度项目检测过程中,可进行抽检或免检。C.1.3.3有条件时,宜将过滤系统安装调试过程的检漏与检测项目中**的过滤系统检漏合并;过滤系统检漏费时、费人力,整个洁净室建造过程中只给出一定的作业时间周期。C.1.4检漏方法检漏方法通常有“气溶胶光度计法”和“离散粒子计数器(DPC)法”。气溶胶光度计是测量空气中悬浮粒子的质量浓度,而离散粒子计数器是测量空气中悬浮粒子的数量和粒径,2种方法获得的结果不能进行直接比较。无菌操作间应根据检验品种的需要,保持对邻室的相对正压或相对负压,以防止外界污染空气的流入。江苏半导体净化车间洁净室检测价格

4.1.1洁净厂房位置的选择,应根据下列要求经技术经济比较后确定:1应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自然环境较好的区域;2应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体或化学污染物的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰或强电磁场的区域。不能远离严重空气污染源时,则应位于全年**小频率风向下风侧;3在厂区内应布置在环境清洁、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..江苏半导体净化车间洁净室检测价格空气过滤器安装方式应严密、简便、可靠,易于检漏和更换。

C.1.1检测目的检测的目的是确认过滤系统安装正确,使用过程中无渗漏发生,不要将已装过滤器系统的检漏与过滤器出厂时的效率检测混为一谈,过滤器出厂前应经过检漏雨测试。此项检测用于验证过滤系统不存在影响设施洁净状况的渗漏;确认过滤系统下风向空气中悬浮粒子的浓度足够满足洁净室设计洁净度。C.1.2检测过程检测中,在过滤器的上风向注入气溶胶,在下风向紧靠过滤器的安装框架的地方扫描,或在风管中的过滤器下风向采样。检漏包括滤材、过滤器边框、密封垫和支撑架在内的整个过滤系统。已装过滤系统的检漏只在“空态”或“静态”下进行,且该项检测是在新建洁净室调试时,或现有设施需要再检测时,或更换了末端过滤器之后进行。
8.2.1洁净厂房内的给水系统应根据各种用途(包括工艺冷却水)对水质、水温、水压、水量的要求确定,宜按生产、生活、消防分别设置的给水系统。8.2.2当设有危险化学品储存和分配室时,应根据化学品的物理化学性能和人身安全的要求,设置紧急淋浴器和洗眼器,其给水管道应环形敷设布置。8.2.3给水管道的管材及附件的选择,应符合下列要求:1给水系统的管材和附件的选用,应满足生产工艺和系统工作参数的要求;2埋地管道应耐腐蚀,并应具有承受相应地面荷载的能力;3生产设备循环冷却水给水和回水管道,应按生产工艺和水质要求,采用不锈钢管、钢塑管、塑料管等,不宜采用焊接钢管;4阀门及附件应采用与管材相同的材质。非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风。

7.3.1洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室(区)面积较小或只有局部要求净化时,宜采用分散式净化空调系统。7.3.2洁净厂房的洁净室(区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室(区)使用功能和降低能量消耗的要求,经技术经济比较,采用运行经济、节约能源的送风方式。7.3.3净化空调系统新风的室外吸入口位置,应远离本建筑或其他建筑物排放有害物质或可燃物的排气口。7.3.4多套净化空调系统同时运行或较大型电子工业洁净厂房的净化空调系统的新风,应集中处理。洁净室绝不仅于“洁净”,而必须是一个对冷热、噪声、照度、静电、微振都有相当要求的多功能的综合体。江苏半导体净化车间洁净室检测价格
不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa。江苏半导体净化车间洁净室检测价格
9.4.2净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加,阻力逐渐增大,为保持送风风量,经常手动调节系统中的风阀,以增加风量,调整很麻烦;在空气调节系统调试中,系统启动时为使风机空载启动,首先将风机出口处风阀关闭,风机启动后,由于风阀上承受压力很大,打开十分困难。当采用空气过滤器前后压力差的变化控制送风机的变频调速装置后,送风量的调节变得十分容易,送风压力稳定。同时洁净室净化空调系统的送风机采用变频调速后节能十分***。9.4.3为避免净化空调系统因风机停转无风或超温时,电加热器继续送电加热会造成设备损坏甚至发生火灾,本条强制性规定应设置无风、超温断电等保护装置。江苏半导体净化车间洁净室检测价格
洁净室检测后整改措施的制定与跟踪验证当检测结果不符合标准时,需立即启动整改流程,遵循"检测-分析-整改-再检测"闭环管理原则。首先成立整改小组,由生产、质量、工程部门人员组成,对超标项目进行根本原因分析(如尘埃粒子超标可能源于高效过滤器泄漏、新风污染、人员洁净服脱落纤维等),通过鱼骨图梳理潜在原因并逐一验证。整改措施分为短期和长期:短期措施如临时增加消毒频次、更换破损的洁净服;长期措施如制定过滤器更换计划、优化人员培训方案。整改完成后,需进行专项再检测(如针对粒子超标区域增加50%测点),并连续监测3个周期确认稳定性。对于重大偏差(如无菌区浮游菌超标),还需评估对产品的影响(如追溯至该时段生产...