1、按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级等级别。2、按气流组织分类,洁净室可分为三类:单向流、层流、洁净室。沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。其中与水平面垂直的单向流是垂直单向流与水平面平行的单向流是水平单向流。乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。混合流洁净室:单向流和非单向流组合的气流的洁净室。3、按所需控制的空气中悬浮微粒分类,可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室,它主要控制参数是温、湿度、风速、气流组织、洁净度。生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。4、洁净室的检测状态可分为三类。(1)空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。(2)静态已全部建成的设施齐备的洁净室中安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转,但场内无生产人员。(3)动态设施处于按规定方式运行的状态并有规定的人员在场以规定的方式工作。CMA资质方面:认可第三方检测机构,CMA计量认证资质。北京排风柜检测优化价格
六检测方法及结果判定(一)风量或风速的测试1、抽样对有设计要求的区域进行检测。2、风量风速必须首先对净化空调各项效果进行检测。(1)乱流洁净室系统的实测风量值应大于各自的设计风量值但不应超过20%;实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%;室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。(2)单向流层流洁净室实测室内平均风速应大于设计风速但不应超过20%;总实测新风量和设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%。3、操作过程及判定(1)乱流洁净室a.对于不安装过滤器的风口可按综合效能普通通风空调风口风量测试的方法进行。b.对于安有过滤器的风口,根据风口形式可选用辅助风管,即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段连接于过滤器风口外部在辅助风管出口平面上,按**少测点数不少于6点均匀布置测点,用热球风速仪测定各点风速,以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。c.对于安有同类扩散板的风口,可以根据扩散板的风量阻力曲线和实测扩散板阻力,查出风量测定时用微压计和毕托管或用细橡管代替毕托管,但都必须使测孔平面与气流方向垂直使测值正确反映静压值。检测层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体,风机,初效空气过滤器,高效空气过滤器。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
高效过滤器检漏步骤如下:
1、 将灰尘粒子计数器用打针用水及75%酒精擦试消毒后再经紫外线映照30分钟传入干净区。
2、 将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴上。
3、 打开电源。仪器进行自检、选项后,把测量塑料管从后面板上拔下。端口放置在需要测量的位置。
4、 检测时采样头离高效过滤器2—4厘米,沿高效过滤器内边框及中间缓慢扫描,每块高效过滤器至少测试出5个点,观察显示数据。测试终了后,测试完毕后,将采样塑料管端口接到尘埃粒子计数器后面板上进行自检,然后关闭电源。
结果:检测各点的悬浮粒子若超出洁净区要求的范围则有泄漏现象,需堵漏或更换。
高效过滤器检漏的目的:在洁净室中,高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此,高效过滤器安装或更换后,必须对过滤器的安装连接处进行检漏,以确保洁净室的洁净度符合要求。精确检测高效过滤器的质量,可以防止高效过滤器走漏,影响出产。 生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。
3、照度
a)在工作台面上,沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点,测量点之间的距离不超过300mm,与侧壁距离为150mm;
b)关掉安全柜的灯,从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx;
4、下降气流流速
在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置,多点测量穿过该平面的下降气流流速;
a)测量点等距分布,形成的正方形栅格不大于150mm×150mm,测试点**少应有3排,每排**少应有7个测量点;
b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。
5、流入气流流速
测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)
a)用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速,测量点为不大于100mm×100mm的栅格点,边界点距过滤器边缘100mm,测量面与过滤器面的距离约100mm;
b)计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速(m/s),平均排气流速乘以排气面积(m2),得到排气流量(m3/s);
c)排气流量(m3/s)除以前窗操作口面积(m2),得到平均流入气流流速(m/s); 安装验证和操作验证完成并进行确认工作后即进行性能验证。广东实验室检测值得推荐
非单向流洁净室(区)的噪声级(空态)不应大于60dB(A),单向流和混合流洁净室(区)的噪声级不应大于65dB(A)。北京排风柜检测优化价格
空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验,并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏,乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室,只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别,就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件:由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率,对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍,对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器,应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏,扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。北京排风柜检测优化价格
上海蔚亚科技发展有限公司专注技术创新和产品研发,发展规模团队不断壮大。公司目前拥有较多的高技术人才,以不断增强企业重点竞争力,加快企业技术创新,实现稳健生产经营。上海蔚亚科技发展有限公司主营业务涵盖洁净室/无尘室检测验证,第三方检测公司,高效过滤器检漏测试,洁净度测试,坚持“质量保证、良好服务、顾客满意”的质量方针,赢得广大客户的支持和信赖。公司凭着雄厚的技术力量、饱满的工作态度、扎实的工作作风、良好的职业道德,树立了良好的洁净室/无尘室检测验证,第三方检测公司,高效过滤器检漏测试,洁净度测试形象,赢得了社会各界的信任和认可。
1.洁净室尘埃粒子检测原理与实践尘埃粒子检测是洁净室检测的**项目之一。其检测原理基于光散射理论,当空气中的尘埃粒子通过激光光束时,会产生光散射现象,散射光的强度与粒子的大小和数量相关。检测仪器通过捕捉这些散射光信号,将其转换为电信号进行分析,从而得出单位体积空气中不同粒径尘埃粒子的数量。在实际检测中,需严格按照标准规范进行操作。首先要对检测仪器进行校准,确保测量数据的准确性。然后根据洁净室的面积和功能区域划分采样点,每个采样点的采样时间和采样量都有明确要求。例如,对于ISO5级洁净室,需在多个采样点采集一定体积的空气样本,对0.3μm、0.5μm等不同粒径的尘埃粒子数量进行统计。检测过程中要...