蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术,蚀刻技术分为湿蚀刻和干蚀刻,其中,湿蚀刻是采用化学试剂,经由化学反应达到蚀刻的目的,薄膜场效应晶体管液晶显示器(tft~lcd)、发光二极管(led)、有机发光二极管(oled)等行业用作面板过程中铟锡氧化物半导体透明导电膜(ito)的蚀刻通常采用盐酸和硝酸的混合水溶液。现有的制备装置在进行制备时会发热反应,使得装置外壳稳定较高,工作人员直接接触有烫伤风险,热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应,溅出容易伤害工作人员,保护性不足,盐酸硝酸具有较强的腐蚀性,常规的搅拌装置容易被腐蚀,影响蚀刻液的质量,用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌,成本过高,且混合的效果不好。所以,如何设计一种ito蚀刻液制备装置,成为当前要解决的问题。 博洋化学BOE蚀刻液的专业供应商。上海应用BOE蚀刻液产品介绍
一种蚀刻方法,其特征在于,使用根据权利要求1至7中任一项所述的蚀刻液,在铜的存在下选择性地蚀刻钛。蚀刻液及蚀刻方法技术领域[0001]本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术[0002]以往,在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如文献1中提出了一种钛的蚀刻液,该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛,并且该蚀刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的过氧化氢、0.05重量%至5重量%的磷酸、0.001重量%至0.1重量%的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。[0003]但是,含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高上海应用BOE蚀刻液产品介绍苏州博洋化学股份专业生产BOE蚀刻液。
在电子线路版(PCB)蚀刻过程中,蚀刻液中的铜含量渐渐增加。蚀刻液要达到比较好的蚀刻效果,每公升蚀刻液需含120至180克铜及相应分量的蚀刻盐(NH4CI)及氨水(NH3)。要持续蚀刻液中上述各种成份的浓度比较好水平,蚀刻用过后的(以下称[用后蚀刻液])溶液需不断由添加的药剂所取缔。本系统将大量原本需要排放的用后蚀刻液再生还原成为可再次使用的再生蚀刻液。只需极少量的补充剂及氨水,补偿因运作时被带走而失去的部份。从而取代蚀刻子液,既可达到蚀刻工艺的要求,又可节省生产成本。蚀刻液再生循环系统有酸性、碱性两大系统,两大系统又可分为萃取法、直接电解法。可将大量原本需要排放的用后蚀刻液还原再生成为可再次使用的再生蚀刻液。从而减少生产废液的排放,回用降低生产成本,且可提取出高纯度电解金属铜。
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硝酸是一种强氧化性、腐蚀性的强酸。硝酸易溶于水,常温下其溶液无色透明。其不同浓度水溶液性质有别,市售浓硝酸为恒沸混合物,质量分数为69.2%(约16mol/L),质量分数足够大(市售浓度为95%以上)的,称为发烟硝酸。硝酸易见光分解,应在棕色瓶中于阴暗处避光保存,也可保存在磨砂外层塑料瓶中(不太建议),严禁与还原剂接触。化学式是HNO3,浓硝酸与浓盐酸按体积比1:3混合可以制成具有强腐蚀性的王水。硝酸的酸酐是五氧化二氮(N2O5)。BOE蚀刻液专业生产厂家。河南工业级BOE蚀刻液供应
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要做好蚀刻工艺的加工,首先要了解蚀刻工艺的形成,那么,如何做好蚀刻?产品的图案是如何形成的呢?或者是说是如何蚀上去的呢?其实是通过以下这几道工序来完成的。1、来料检验当接到客户需要加工的工件时,首先我们要经过检查,也就是我们目前IQC工序所要做的工作,把接到客户的加工工件抹干净,然后进行仔细检验,把来料中存在的不良品剔除出来,保证投入的产品是良品。2、静电除尘、喷感光油、检查当来料加工的工件经过IQC检验合格后,就交给下一道工序:喷感光油,但在喷感光油前一定要进行静电除尘,因为产品在生产过程和我们抹试的过程中,不同程度上会存在静电,而静电是可以吸付灰尘的,所以必须经过静电除尘,把静电去除后灰尘才不会吸付在产品上面,完成静电除后就进行下一步工作:喷感光油,喷感受光油的作用主要是为下一道工序感光(爆光)做好准备,将产品前后都喷上感光油,完成喷油工作后,必须对产品进行仔细检查,检查的目的是产品在喷油过程中有没有喷到油、有没有存留油渣等不良现象出现,当产品检查OK后就要流入下一个工序:感光(爆光)。上海应用BOE蚀刻液产品介绍
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