一种蚀刻方法,其特征在于,使用根据权利要求1至7中任一项所述的蚀刻液,在铜的存在下选择性地蚀刻钛。蚀刻液及蚀刻方法技术领域[0001]本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术[0002]以往,在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如文献1中提出了一种钛的蚀刻液,该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛,并且该蚀刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的过氧化氢、0.05重量%至5重量%的磷酸、0.001重量%至0.1重量%的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。[0003]但是,含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高苏州博洋生产销售BOE蚀刻液。安徽工业级BOE蚀刻液
铝蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器和数个小型的储存罐,混合罐通过液管与过滤器连接,过滤器的出液口处安装有气动升降式出液管,每个储存罐的进液口和出液口中安装有一只单向液动阀,过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中,将过滤后的铝蚀刻液注入储存罐内暂存。请参阅图1,储存罐10固定在一辆液压升降式拖车20的顶部,在过滤器的下方设置地磅30,载有空储存罐的拖车置于地磅上方,过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中,当地磅所测得的重量达到系统预设重量时,过滤器的出液管自动上行离开储存罐。将装满的储存罐从铝蚀刻液生产车间移动至自动灌装车间中,将灌装头的快速接头插入储存罐的出液口中便可将储存罐内的铝蚀刻液分装。拖车的底部具有滚轮21,即使滚轮带有刹车,也很难保证拖车在地磅顶部不移动。在地磅的顶部平台中设置有两条卡块40,卡块与平台之间形成一插槽,在地磅的顶部设置有包括气缸50和压紧块60的气动夹紧机构,压紧块位于插槽中,气缸的伸缩杆与压紧块固连。拖车的边缘沿插槽插入后,气缸带动压紧块下行将拖车紧紧压在地磅的顶部。湖北无机BOE蚀刻液销售厂家苏州博洋化学股份有限公司使命必达。
酸性蚀刻液是什么?对于蚀刻液用法的理解,我们可以用个比较通俗的说法,那就是使用具有腐蚀性的一些化学材料对某种物品进行腐蚀,将不需要的部分腐蚀掉,从而将其雕刻成所需要的目标物品的过程。那这个具有腐蚀性的化学材料,就称为蚀刻液了。那专业的蚀刻液解释又是什么呢?蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体,是一种铜版画雕刻用原料。从理论上讲,凡能氧化钢而生成可溶性铜盐的试剂,都可以用来蚀刻敷铜箔板,但是蚀刻液用途要权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度,溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等各方面的影响因素选择合适的试剂。蚀刻液一般分为酸性蚀刻液和碱性蚀刻液两种。酸性蚀刻液主要成分氯化铜、盐酸、氯化钠和氯化铵。它的机理是:,;酸性蚀刻液具有蚀刻速率易控制,蚀刻液在稳定状态下能达到高的蚀刻质量的特性;同时,它的溶铜量大;酸性蚀刻液也较容易再生与回收,从而减少污染。有研究表明,酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3,以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀,达到蚀刻的线条侧壁接近垂直,其蚀刻效果非常好。结合以上特性,酸性蚀刻液一般用于多层印制板的内层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作。
硝酸是一种强氧化性、腐蚀性的强酸。硝酸易溶于水,常温下其溶液无色透明。其不同浓度水溶液性质有别,市售浓硝酸为恒沸混合物,质量分数为69.2%(约16mol/L),质量分数足够大(市售浓度为95%以上)的,称为发烟硝酸。硝酸易见光分解,应在棕色瓶中于阴暗处避光保存,也可保存在磨砂外层塑料瓶中(不太建议),严禁与还原剂接触。化学式是HNO3,浓硝酸与浓盐酸按体积比1:3混合可以制成具有强腐蚀性的王水。硝酸的酸酐是五氧化二氮(N2O5)。苏州博洋化学股份有限公司,BOE蚀刻液。
现阶段通常用于金属层蚀刻的铜酸蚀刻溶液主要成分为过氧化氢和一些添加剂;过氧化氢用于对金属进行氧化,而添加剂则主要将氧化物酸化成离子态,使其溶解于溶液中,并且维持蚀刻特性要求。由于过氧化氢同时具有氧化性和还原性,其可以将铜氧化,也可以被金属离子催化发生歧化分解反应,生成氧气。如果此反应速度过快,则会生热乃至引起等安全事故。与此同时,二价铜离子也具有一定的氧化性,当蚀刻时间较长,所述铜酸蚀刻溶液体系内的铜离子含量较高时,溶液的蚀刻特性会发生变化,以至于蚀刻达不到要求,所述铜酸蚀刻溶液不能够再进行蚀刻,即达到蚀刻寿命。基于以上两个方面,过氧化氢体系的铜酸蚀刻溶液寿命较低,一般为当铜酸溶液中铜离子的浓度达到4000-8000百万分比浓度,则不能再使用;并且加入使用新的铜酸蚀刻溶液需要投入更多的成本。BOE蚀刻液多少钱一吨?浙江一种BOE蚀刻液联系方式
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为了能在阴极板23单侧表面上形成均匀分布且厚度一致的铜,以便于后续的剥离,本实施例在该电解槽21两端内侧分别形成有供阴极板23端部由上至下插入的两个纵向条形插槽211,且该两个纵向条形插槽211分布于电解槽21端部的两侧边上,该阴极板23两端插入纵向条形插槽211中之后,该阴极板23外侧面与电解槽21内壁相靠近,且接近于贴合,推荐的,阴极板23外侧面与电解槽21内壁接触贴紧时为佳的状态,则此时阴极板23外侧面与电解槽21内壁之间无缝隙。由于阴极板23端部插入到了纵向条形插槽211中,则阴极板23端部表面与纵向条形插槽211内壁之间几乎没有缝隙,同时,阴极板23外侧面与电解槽21内壁之间也几乎没有缝隙,因此,在阴极板23端部表面与纵向条形插槽211内壁之间、及阴极板23外侧面与电解槽21内壁之间电解液药水很少,几乎没有,即在这两个位置处电解液交换量很少,甚至没有,即在这两个位置处无铜离子的存在。由此,在阴极板23端部表面(靠边上)、及阴极板23外侧面上长铜很少,甚至不长铜,而在阴极板23内侧表面上(除了端部表面)附上了一层铜,且铜分布均匀,厚度一致,阴极板上铜的有效面积大,便于后续将铜拆下来,有效杜绝了阴极板23上铜层四周厚、中间薄现象的发生。安徽工业级BOE蚀刻液
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