佛山铜钛蚀刻液蚀刻液供应商

图7：本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构运作局部放大图。图8：本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图9：本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图10：本实用新型蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图11：本实用新型蚀刻设备其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图12：本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图13：本实用新型蚀刻方法的步骤流程图。图号说明：传统挡液板结构a挡液板结构b风刀c气体本实用新型1蚀刻设备10挡液板结构11***挡板12第二挡板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三挡板20基板30输送装置31滚轮40风刀装置41***风刀42第二风刀43气体50喷洒装置51药液s1步骤一s2步骤二s3步骤三s4步骤四h长度θ夹角θ1***夹角θ2第二夹角θ3第三夹角θ4接触角a0孔径a1上孔径a2下孔径w、w1、w2距离。具体实施方式首先，请参阅图2与图3所示，为本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图，以及宣泄孔排列示意图，其中本实用新型的挡液板结构10适用于一湿式蚀刻机(图式未标示)。如何挑选一款适合自己公司的蚀刻液？佛山铜钛蚀刻液蚀刻液供应商

如上所述的挡液板结构，其中宣泄孔的孔径小于3毫米(millimeter，mm)。如上所述的挡液板结构，其中宣泄孔为千鸟排列或矩阵排列等其中的一种排列方式。如上所述的挡液板结构，其中宣泄孔为直通孔或斜锥孔等其中的一种态样或两者的混合。如上所述的挡液板结构，其中宣泄孔具有一***壁面，以及一第二壁面，且第二挡板具有一下表面，当宣泄孔为斜锥孔态样时，***壁面与下表面的***夹角不同于第二壁面与下表面的第二夹角。如上所述的挡液板结构，其中当宣泄孔为斜锥孔态样时，宣泄孔的上孔径与下孔径不相等。如上所述的挡液板结构，其中当宣泄孔为斜锥孔态样时，宣泄孔的上孔径小于下孔径。如上所述的挡液板结构，其中当宣泄孔为斜锥孔态样时，宣泄孔由第二挡板的下表面朝向上表面的方向渐缩。此外，为了达到上述的实施目的，本实用新型另提出一种蚀刻设备，设置于一湿式蚀刻机的一槽体内，蚀刻设备至少包括有一如上所述的挡液板结构、一基板、一输送装置，以及一风刀装置；基板设置于挡液板结构的下方；输送装置设置于基板的下方，输送装置包括有至少一滚轮，其中滚轮与基板接触以运行基板；风刀装置设置于挡液板结构的一端部，风刀装置包括有一设置于基板上方的***风刀。四川京东方用的蚀刻液蚀刻液推荐厂家BOE蚀刻液的生产厂家。

步骤一s1：设置一挡液板结构10，其中该挡液板结构10设置有复数个宣泄孔121；该挡液板结构10包括有一***挡板11、一与该***挡板11接合的第二挡板12，以及一与该第二挡板12接合的第三挡板13，其中该第二挡板12具有复数个贯穿该第二挡板12且错位设置的宣泄孔121，该复数个宣泄孔121呈千鸟排列的直通孔态样，且位于同一列的宣泄孔121之间具有相同的距离，其中该宣泄孔121的孔径a0比较好小于3mm，以使该宣泄孔121的孔洞内产生毛细现象，若该第二挡板12的该上表面123有水滴出现时，则该水滴不至于经由该宣泄孔121落至下表面122，但仍旧可以提供空气宣泄的管道，以借由该宣泄孔121平衡该第二挡板12上、下二端部的压力。步骤二s2：使用一设置于该挡液板结构10下方的输送装置30输送一基板20，以经过一喷洒装置50进行一药液51喷洒；在本实用新型其一较佳实施例中，该喷洒装置50设置于该挡液板结构10的一端部，且该基板20设置于该挡液板结构10的下方约8毫米至15毫米之间，其中该喷洒装置50用以喷洒一药液51至该基板20上，以对该基板20进行一湿式蚀刻制程，该挡液板结构10的设置即是为了避免该喷洒装置50的药液51继续对已经完成蚀刻步骤的基板20再进行蚀刻制程。

将hno3、四甲基氢氧化铵、h2o2分别投入对应的原料罐，备用；第三步：根据混酸配制表算出各个原料的添加量，按照纯水→亚氨基二乙酸→氢氟酸→hno3→四甲基氢氧化铵→乙醇酸的顺序依次将原料加入调配罐，将上述混料充分搅拌，搅拌时间为3～5h；第四步：在第三步的混料中再添加h2o2，继续搅拌混匀，搅拌时间为3～5h，用磁力泵将混合液通过过滤器循环过滤。作为推荐的技术方案，所述磁力泵出口压力≤，过滤器入口压力≤。根据制备铜蚀刻液的原料确定磁力泵的出口压力和过滤器的入口压力，包装原料可以被充分过滤。作为推荐的技术方案，所述调配罐内的温度设定在30～35℃。调配罐的温度不能超过35℃，由于过氧化氢的密度随温度的升高而减小，因此保证交底的反应温度有助于保证原料体系的稳定作为推荐的技术方案，所述过滤器的微滤膜孔径为～μm。作为推荐的技术方案，第三步中各种原料在～，调配罐内填充氮气，搅拌速度为30～50r/min。作为推荐的技术方案，原料罐和调配罐大拼配量不超过罐容积的80％。本发明的优点和有益效果在于：本发明在制备酸性铜蚀刻液的过程中，用低温纯水(10℃)替代常温纯水(25℃)，将低温纯水加入反应体系中，降低反应体系的反应温度。蚀刻液的时刻速率是多少；

本发明涉及一种用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛的蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法。背景技术：以往，在蚀刻钛时一直使用含有氢氟酸或过氧化氢的蚀刻液。例如专利文献1中提出了一种钛的蚀刻液，该钛的蚀刻液是用来在铜或铝的存在下蚀刻钛，并且该蚀刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的过氧化氢、％至5重量％的磷酸、％至％的膦酸系化合物及氨所构成的水溶液将pH值调整为7至9。但是，含有氢氟酸的蚀刻液存在毒性高的问题，含有过氧化氢的蚀刻液存在缺乏保存稳定性的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第4471094号说明书。技术实现要素：发明所要解决的问题本发明是鉴于所述实际情况而成，其目的在于提供一种蚀刻液及使用该蚀刻液的蚀刻方法，所述蚀刻液可在铜的存在下选择性地蚀刻钛，而且毒性低，保存稳定性优异。解决问题的技术手段本发明的蚀刻液是为了在铜的存在下选择性地蚀刻钛而使用，并且含有：选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸；以及选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物。所述硫酮系化合物推荐为选自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所组成的群组中的至少一种。苏州性价比较好的蚀刻液的公司联系电话。安徽格林达蚀刻液费用

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其中输送装置借由至少一呈顺时针方向转动的滚轮带动基板由喷洒装置的下端部朝向风刀装置的***风刀的下端部的方向移动。如上所述的蚀刻方法，其中风刀装置分别借由一设置于该输送装置的上端部的***风刀与一设置于该输送装置的下端部的第二风刀朝向基板的上表面与下表面吹送气体。借此，本实用新型所产生的技术效果：本实用新型的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的硬体设计，有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蚀刻不均等异常现象，确实达到保有原始挡液板的挡液效果，以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。附图说明图1：传统挡液板结构的整体设置示意图。图2：本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图。图3：本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图4：本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图5：本实用新型挡液板结构其三较佳实施例的宣泄孔排列示意图。图6：本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的整体结构示意图。佛山铜钛蚀刻液蚀刻液供应商