企业商机
蚀刻液基本参数
  • 品牌
  • 博洋化学
  • 产品名称
  • 钼铝钼蚀刻液
  • 纯度级别
  • 超纯/高纯
  • 类别
  • 无机酸
  • 产品性状
  • 液态
蚀刻液企业商机

图7:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构运作局部放大图。图8:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图9:本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图10:本实用新型蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图11:本实用新型蚀刻设备其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图。图12:本实用新型挡液板结构其二较佳实施例的宣泄孔的表面张力局部放大图。图13:本实用新型蚀刻方法的步骤流程图。图号说明:传统挡液板结构a挡液板结构b风刀c气体本实用新型1蚀刻设备10挡液板结构11***挡板12第二挡板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三挡板20基板30输送装置31滚轮40风刀装置41***风刀42第二风刀43气体50喷洒装置51药液s1步骤一s2步骤二s3步骤三s4步骤四h长度θ夹角θ1***夹角θ2第二夹角θ3第三夹角θ4接触角a0孔径a1上孔径a2下孔径w、w1、w2距离。具体实施方式首先,请参阅图2与图3所示,为本实用新型挡液板结构其一较佳实施例的整体结构示意图,以及宣泄孔排列示意图,其中本实用新型的挡液板结构10适用于一湿式蚀刻机(图式未标示)。蚀刻液的怎么找到好的厂家;安庆铜钛蚀刻液蚀刻液联系方式

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内嵌观察窗402通过观察窗翻折滚轮401内嵌入装置内部,工作人员可通过内嵌的透明窗对内部的制备状况进行实时查看,从而很好的体现了该装置的实时性。推荐的,盐酸装罐7的顶端嵌入连接有热水流入漏斗9,在进行制备时需要向盐酸装罐7内倒入一定比例的热水进行均匀调和,由于热水与盐酸接触会产生较为剧烈的反应,溅出容易伤害工作人员,通过设置热水流入漏斗9,工作人员可沿着热水流入漏斗9将热水缓缓倒入盐酸内,从而很好的减小了发生反应的剧烈程度,很好的起到了保护作用。推荐的,装置底座5的内部两侧紧密焊接有加固支架10,由于制备装置为一体化装置,承载设备较多,质量较重,对底座会产生较大的压力,通过设置加固支架10,加固支架10为连接在两侧底座支柱的三角结构,利用三角结构稳定原理对装置底座5起到了很好的加固效果。推荐的,制备装置主体1的两端紧密贴合有防烫隔膜11,由于制备装置在进行制备时会发***热反应,使得装置外壳稳定较高,工作人员直接接触有烫伤风险,通过设置防烫隔膜11,防烫隔膜11为很好的隔热塑胶材料,能够很好的防止工作人员被烫伤,很好的体现了该装置的防烫性。推荐的,高效搅拌装置2是由内部顶部中间部位的旋转摇匀转盘12。安庆铜钛蚀刻液蚀刻液联系方式如何挑选一款适合公司的蚀刻液?

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所述液位计连接有液相气相温度传感器和压力传感器。在其中一个实施例中,所述分离器的侧壁上设有多个视镜。在其中一个实施例中,所述液位计安装于所述分离器的外表面。在其中一个实施例中,所述液位开关为控制阀,设置于所述滤液出口处。在其中一个实施例中,所述加热器为盘管式加热器。在其中一个实施例中,所述分离器底部为锥体形状。上述,利用加热器对含铜蚀刻液进行加热,使其达到闪蒸要求的温度,将加热好的含铜蚀刻液输送至分离器,经过减压阀及真空泵减压,含铜蚀刻液在分离器内发生闪蒸,产生大量蒸汽,蒸汽中携带着大小不等的液滴,通过除雾组件和除沫组件可以防止大液滴从蒸汽出口飞出,减小产品损失。附图说明图1是本实施例的结构示意图;图2是本实施例的外观示意图。图中:1、液体入口;2、滤液出口;3、除雾组件;4、除沫组件;5、蒸汽出口;6、液相气相温度传感器;7、液位计;8、压力传感器;9、液位开关;10、视镜;11、加热器;12、减压阀;13、真空泵。具体实施方式在一个实施例中,如图1所示,一种含铜蚀刻液气液分离装置,包括分离器及加热器11,所述分离器设有液体入口1、蒸汽出口5及滤液出口2,所述液体入口1用于将加热器11产生的液体输入至分离器中。

本发明涉及铜蚀刻液技术领域,具体涉及一种酸性铜蚀刻液的生产工艺。背景技术:高精细芯片和显示集成电路主要采用铜制程,其光刻工艺中形成铜膜层结构所需用的铜刻蚀液中主要的为过氧化氢系铜刻蚀液。过氧化氢系铜蚀刻液较其他铜刻蚀液体系(如三氯化铁体系,过硫酸铵体系)具有不引人其他金属离子在铜层表面或线路体系中,产物亲和、友好、环境污染少,刻蚀效率高且使用寿命较长的特点。大部分过氧化氢系铜刻蚀液包括参与氧化的过氧化氢组分、参与溶解的无机酸/有机酸组分,以及部分铜缓蚀剂等各类添加三个部分。由于铜蚀刻液中各物质的反应为放热反应,体系中又含有过氧化氢在制备铜蚀刻液的生产过程中需要保证生产安全。技术实现要素:本发明的目的在于,克服现有技术中存在的缺陷,提供一种铜蚀刻液大规模量产的生产工艺,该生产工艺温控严格,生产过程中安全性高。为实现上述目的,本发明的技术方案是设计一种酸性铜蚀刻液的生产工艺,所述工艺包括以下步骤:第一步:将纯水进行低温处理,使纯水温度≤10℃在纯水罐中备用;第二步:配制和准备原料,将亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸分别投入对应的原料罐中,经过过滤器循环过滤,备用。铜蚀刻液哪里可以买到;

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本实用新型涉及一种铝蚀刻液生产设备。背景技术:铝蚀刻液生产设备主要包括混合罐、过滤器和储存罐,将蚀刻液中的各组份在混合罐混合均匀,由过滤器滤去杂质后投入储存罐中暂存,然后分装销售。以往,铝蚀刻液的分装由人工操作,随着自动化技术的兴起,全自动灌装线在铝蚀刻液生产企业得到广泛应用,但是,我司的铝蚀刻液生产车间面积较小,无法放置自动灌装线,所以需要对现有的生产设备进行改造,以实现铝蚀刻液的全自动灌装。技术实现要素:本实用新型提出了一种铝蚀刻液生产设备,以解决上述背景技术中提出的问题。为达前述目的,本实用新型提供的技术方案如下:铝蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器、数个储存罐、数辆液压升降式拖车和地磅,所述混合罐通过液管与所述过滤器连接,所述过滤器的出液口处安装有气动升降式出液管,每个所述储存罐固定在对应的拖车顶部,所述储存罐的进液口和出液口处安装有单向液动阀,所述地磅位于所述过滤器的下方,所述地磅的顶部设置有将所述拖车固定的气动夹紧机构。在本技术方案中,载有空储存罐的拖车置于地磅上方,过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中,当地磅所测得的重量达到系统预设重量时。苏州博洋化学股份有限公司专业生产BOE蚀刻液。四川蚀刻液厂家现货

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以带动该基板20由该喷洒装置50下端部朝向该风刀装置40的该***风刀41下端部的方向移动。该风刀装置40设置于该挡液板结构10的一端部,该风刀装置40包括有一设置于该基板20上方的***风刀41,以及一设置于该基板20下方的第二风刀42,其中该***风刀41与该第二风刀42分别吹出一气体43至该基板20,以将该基板20上的一药液51带往与相反于该基板20的行进方向,以使该基板20上该药液51减少,其中该气体43远离该***风刀41与该第二风刀42的方向分别与该基板20的法线方向夹设有一第三夹角θ3,且该第三夹角θ3介于20度至35度之间。此外,请一并参阅图8与图9所示,为本实用新型蚀刻设备其一较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图,以及宣泄孔的表面张力局部放大图,其中该宣泄孔121为直通孔的态样,当该风刀装置40的***风刀41与该第二风刀42为了减少该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时,该气体43碰到该挡液板结构10后部分会往该复数个宣泄孔121流动,并朝向该第二挡板12的该上表面123宣泄而出(如图8所示),除了保有原有挡液板的防止该药液51喷溅而造成的蚀刻不均现象,亦可达到以破真空的原理避免该气体43在该基板20附近形成涡流而造成真空吸引问题;此外。安庆铜钛蚀刻液蚀刻液联系方式

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