企业商机
蚀刻液基本参数
  • 品牌
  • 博洋化学
  • 产品名称
  • 钼铝钼蚀刻液
  • 纯度级别
  • 超纯/高纯
  • 类别
  • 无机酸
  • 产品性状
  • 液态
蚀刻液企业商机

本发明涉及铜蚀刻液技术领域,具体涉及一种酸性铜蚀刻液的生产工艺。背景技术:高精细芯片和显示集成电路主要采用铜制程,其光刻工艺中形成铜膜层结构所需用的铜刻蚀液中主要的为过氧化氢系铜刻蚀液。过氧化氢系铜蚀刻液较其他铜刻蚀液体系(如三氯化铁体系,过硫酸铵体系)具有不引人其他金属离子在铜层表面或线路体系中,产物亲和、友好、环境污染少,刻蚀效率高且使用寿命较长的特点。大部分过氧化氢系铜刻蚀液包括参与氧化的过氧化氢组分、参与溶解的无机酸/有机酸组分,以及部分铜缓蚀剂等各类添加三个部分。由于铜蚀刻液中各物质的反应为放热反应,体系中又含有过氧化氢在制备铜蚀刻液的生产过程中需要保证生产安全。技术实现要素:本发明的目的在于,克服现有技术中存在的缺陷,提供一种铜蚀刻液大规模量产的生产工艺,该生产工艺温控严格,生产过程中安全性高。为实现上述目的,本发明的技术方案是设计一种酸性铜蚀刻液的生产工艺,所述工艺包括以下步骤:第一步:将纯水进行低温处理,使纯水温度≤10℃在纯水罐中备用;第二步:配制和准备原料,将亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸分别投入对应的原料罐中,经过过滤器循环过滤,备用。蚀刻液的配方是什么?佛山市面上哪家蚀刻液供应商

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该挡液板结构10包括有一***挡板11、一与该***挡板11接合的第二挡板12,以及一与该第二挡板12接合的第三挡板13,其主要特征在于:该第二挡板12具有复数个贯穿该第二挡板12且错位设置的宣泄孔121。该***挡板11与该第二挡板12呈正交设置,且该第二挡板12与该第三挡板13呈正交设置,以使该***挡板11、该第二挡板12与该第三挡板13围设成一凹槽的态样,在一实施例中,该***挡板11、该第二挡板12与该第三挡板13可以为一体成形,其中该第二挡板12的长度h介于10cm至15cm之间,而该等开设于该第二挡板12上的宣泄孔121可呈千鸟排列或矩阵排列等其中的一种排列的态样,且该宣泄孔121可为直通孔或斜锥孔等其中的一种态样或两者的混合;在本实用新型其一较佳实施例中,开设于该第二挡板12上的宣泄孔121呈千鸟排列的直通孔态样,且位于同一列的宣泄孔121之间具有相同的距离(例如:图3中所示的w),其中该宣泄孔121的一孔径a0比较好小于3mm,以使该宣泄孔121的孔洞内产生毛细现象,若该第二挡板12的该上表面123有水滴出现时,则该水滴不至于经由该宣泄孔121落至下表面,但仍旧可以提供空气宣泄的管道,以借由该宣泄孔121平衡该第二挡板12上、下二端部的压力。此外,请一并参阅图4图5所示。四川铝钼铝蚀刻液蚀刻液销售厂家如何挑选一款适合自己公司的蚀刻液?

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铝板面蚀刻用:酸、碱都行。(铝板是两性材料,既能与酸反应,又能与碱反应,所以腐蚀液有的用碱性材料腐蚀,有的用酸性材料腐蚀,一般情况下,以酸性材料腐蚀的为多,碱性材料可以洗白。下好料的铝板用枣木碳研磨,去掉油腻、划痕,磨出哑光表面。然后用丝网版印上纹样,油墨型号为80-39、80-59、80-49等。这种耐腐蚀油墨细腻,印出的纹样质量高。印完纹样后放进电炉内烘干,然后用即时贴封住后面,用胶带封边,进入腐蚀工艺。铝板的腐蚀液配方如下:三氯化铁50%硫酸铜50%水适量,波美度15~20°之间,铝板腐蚀时应平放,在腐蚀的过程中纹样上溢出赭红色的滓渣,应随时用毛刷去掉,铝面上冒出大量泡泡,滓渣随泡泡浮起。铝板的腐蚀时间大约在15~20min左右就可完成。一般情况下铝板厚度不应低于1mm,否则一不小心会腐蚀透,影响效果。铝板的防护材料用香蕉水去掉。腐蚀后的铝板抛光和铜板一样,抛光时用香蕉水搓净余蜡,用另一块棉花擦磨出亮光,然后喷护光剂防护,其它同铜一样加工。)

将装置主体1内部的蚀刻液进行清洗,具有很好的清理作用。工作原理:对于这类的回收处理装置,首先将蚀刻液倒入进液漏斗6并由过滤网7过滤到进液管8中,之后蚀刻液流入到承载板3上的电解池4中时,启动液压缸11带动伸缩杆12向上移动,从而通过圆环块13配合连接杆14和伸缩管9带动喷头10向上移动,进而将蚀刻液缓慢的由喷头10喷入到电解池4中,避免蚀刻液对电解池4造成冲击而影响其使用寿命,具有保护电解池4的功能,之后金属铜在隔膜5左侧析出;其次在蚀刻液初次电解后,通过控制面板30启动增压泵16并打开一号电磁阀18,将蚀刻液通过回流管15抽入到一号排液管17中,并由进液管8导入到伸缩管9中,直至蚀刻液由喷头10重新喷到电解池4中,可以充分的将蚀刻液中的亚铜离子电解转化为金属铜,起到循环电解蚀刻液的作用,然后打开二号电磁阀23,将蚀刻液通过二号排液管22导入到分隔板2左侧,倾斜板24使得蚀刻液向左流动以便排出到装置主体1外,接着启动抽气泵19,将电解池4中产生的有害气体抽入到排气管20并导入到集气箱21中,实现有害气体的清理,紧接着打开活动板25将金属铜取出,之后启动增压泵16并打开三号电磁阀29,将由进水管27导入到蓄水箱26中的清水。质量好的蚀刻液的公司联系方式。

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操作人员的手会与连接构件11接触,海绵层12可以将操作人员手上的水分进行吸收,避免连接构件11的两侧与操作人员的手接触的时候,会因操作人员的手沾湿出现手滑的情况,有效的保证了装置内部构件的连接工作能正常的进行;然后,通过连接构件11将装置主体1内部构件进行连接,连接构件11设置有十四个,连接构件11设置在搅拌仓23的底部,连接构件11与搅拌仓23固定连接,连接构件11能将装置主体1内部的两个构件进行连接并固定,且在将两构件进行连接或拆卸的时候,不需要使用任何工具就能完成安装和拆卸工作,在将两构件的连接管放在连接构件11的两端,再通过连接管与连接构件11内侧两端的螺纹管27进行连接,通过转动连接构件11的两侧部位,同时使连接管与连接构件11的中间位置固定住,通过活动轴28的作用,使连接管通过连接有的螺纹向内来连接,使连接管将密封软胶层29进行挤压,使两构件的连接管进行密封连接,有效的提高了装置连接的实用性;接着,更换或添加硝酸钾储罐21或其它储罐内的制备材料,硝酸钾储罐21的顶部嵌入连接有密封环22,在将制备蚀刻液储罐加入制备材料的时候,需要将储罐进行密封,密封环22能将硝酸钾储罐21和其他储罐的顶盖与储罐主体连接的位置进行密封。「博洋化学」蚀刻液提铜 提供微电子领域个性化解决方案!广州铜蚀刻液蚀刻液商家

使用蚀刻液的时候需要注意的事项有哪些?佛山市面上哪家蚀刻液供应商

所述液位计7安装于所述分离器的外表面。液位计7安装在方便工作人员查看的位置,有利于提高工作人员工作的效率。在一个实施例中,如图1所示,所述液位开关9为控制阀,设置于所述滤液出口2处。控制阀为内螺纹截止阀,通过旋转操纵盘实现阀门的开关,这种阀结构简单,维修方便,工作行程小,启闭时间短,使用寿命长。在一个实施例中,如图2所示,所述分离器的侧壁上设有多个视镜10。分离器侧壁上设置的视镜10可以帮助工作人员辅助判断液位计7的工作状况。在一个实施例中,如图1所示,所述加热器11为盘管式加热器。盘管式加热器的受热更加均匀,加热效率更高。在一个实施例中,如图1所示,所述分离器底部为锥体形状。分离器底部设置成锥体形状更有利于滤液排出,不会残留在分离器内。以上所述是本实用新型的推荐实施方式,本实用新型的保护范围并不局限于上述实施例,凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。佛山市面上哪家蚀刻液供应商

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