江苏一种BOE蚀刻液主要作用

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    然后将装有蚀刻液的石英烧瓶放入加热套中加热，待加热到确定温度后，放入氮化硅样片进行蚀刻；蚀刻完后，取出样片采用热超纯水清洗和氮气吹干后，使用椭圆偏振光谱仪对蚀刻前所取位置的6个点的厚度进行测量，计算蚀刻前后6个取点的厚度差值，对比6个点之间的厚度差值的差异。与现有的使用磷酸作为蚀刻液相比，本发明的有益效果是：醇醚类和表面活性剂的添加能明显改善磷酸溶液的浸润性和降低磷酸溶液的表面张力，有效提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿性和蚀刻均匀性。具体实施方式下面结合具体实施例，进一步阐述本发明，对本发明做进一步详细的说明，但不限于这些实施例。本发明的蚀刻液配制时选择的磷酸浓度为85％，蚀刻温度为160℃，蚀刻时间为10min。先对所配制蚀刻液的表面张力进行检测，然后将氮化硅样片使用超纯水清洗和氮气吹干后，进行接触角的测量；蚀刻前使用超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后，在氮化硅样片上取6个不同位置的点对其厚度进行测量；蚀刻完成后使用热超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后，取与蚀刻前相同位置的6个点进行厚度测量。实施例1本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中。江苏技术密集BOE蚀刻液商家博洋 BOE 蚀刻液以其独特优势，为行业提供个性化解决方案！

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    所述组合物包含540重量％的甲基四氢呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。的甲基四氢呋喃是2-甲基四氢呋喃。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中，九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。不论R是什么，的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟异丁基烷基醚组成。共沸或共沸型的组合物是特别有利的。当R为甲基时，该共沸或共沸型的组合物包含515重量％的甲基四氢呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚。包含8重量％的甲基四氢呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚的共沸组合物在大气压下具有°C的沸点。当R为乙基时，该共沸或共沸型的组合物包含1040重量％的甲基四氢呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚。包含％的甲基四氢呋喃和％的九氟丁基乙基醚的共沸组合物在大气压()下具有°C的沸点。共沸组合物是两种或更多种化合物的液体混合物，其具有可高于或低于各化合物的沸点的恒定沸点(即，在沸腾或蒸发期间没有分馏的倾向)。因此，在蒸发期间形成的蒸气的组成与初始的液体组合物相同或者几乎相同。共沸型组合物是两种或更多种化合物的液体混合物，其具有基本上恒定的沸点，也就是说，共沸型组合物起到单一化合物的作用。BOE蚀刻液使用时要注意什么？

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