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    来对所述待加工表面进行减薄。可选地，还包括：在所述磁转子运行一段时间后，更换所述磁转子。可选地，将待加工部件固定在托盘上包括：采用光刻胶将所述待加工部件固定在所述托盘上。可选地，对所述待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后，还包括：对所述待加工部件进行清洗；采用特定溶液对所述光刻胶进行腐蚀，以将所述待加工部件与所述托盘分离。与现有技术相比，本发明所提供的技术方案具有以下优点：本发明所提供的抛光减薄装置和抛光减薄方法，采用托盘固定待加工部件，采用喷头向待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对所述待加工表面进行抛光，采用磁转子旋转对待加工表面进行机械研磨，来对所述待加工表面进行减薄，由于减薄过程中待加工部件如inp基晶圆本身不旋转，因此，可以降低抛光减薄过程中对待加工部件如inp基晶圆的挤压应力，降低待加工部件如inp基晶圆的机械加工损伤。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。浙江哪家公司减薄用清洗剂销售厂选择专业减薄用清洗剂，为您的产品质量保驾护航。

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    从而在玻璃侧部提供支撑效果，通过所述底支撑件43和所述侧支撑件44实现玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撑稳定效果。较佳的，所述底支撑件43和所述侧支撑件44可均采用ptfe材质。较佳的，所述侧支撑件44设置为叉状型结构，即所述侧支撑件44包括两叉脚，所述玻璃侧边边缘设置于两所述叉脚间，两所述叉脚在一端连接，两所述叉脚间距离从连接端向非连接端的方向逐渐增大，两所述叉脚间的大距离大于玻璃的厚度，限制玻璃两对应侧部边缘的两所述侧支撑件44之间的水平距离大于玻璃两侧部边缘之间的水平距离，即当玻璃通过两侧的所述侧支撑件44进行支撑限制时，玻璃的两侧部边缘在两所述叉脚间空间内均具有一定的调整间隙，从而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31内往复运动，玻璃的两侧部边缘相较于所述侧支撑件44进行一定的位置移动，从而避免所述侧支撑件44长期于玻璃的同一位置接触紧贴。所述侧支撑件44的结构设置，使所述玻璃加工治具4在所述腔室31内沿直线往复运动的过程中，所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点发生变化，从而避免所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点因所述侧支撑件44的长期接触造成接触点无法被喷淋液喷淋，若接触点无法被喷淋，易造成玻璃的减薄缺陷。减薄用清洗剂的使用时要注意什么？

    通过旋紧螺钉使螺钉的端头部分与所述支撑条431或所述第二支撑条432接触，从而实现对所述连接部433的固定，避免所述连接部433在振动时发生脱离等情况。同时螺钉的设置，可实现所述底支撑件43结构的快速装卸，便于维修更换。值得指出的是，为达到防止所述连接部433脱离的效果，所述限位块438和所述第二限位块439并非于设置为螺钉，通过在所述限位块438和所述第二限位块439的端部设置横截面合适的部件，使所述限位块438、所述第二限位块439与所述连接部433卡接，即可实现螺钉的效果。所述接触部434设置有弧形槽，玻璃的下边缘设置于所述弧形槽内，从而实现所述底支撑件43对玻璃的位置固定。在进行减薄或其他加工过程中，玻璃通过所述玻璃加工治具4进行移动或放置时，均会产生振动；同时在进行蚀刻冲刷时，在酸液冲击的作用下由于玻璃底部固定，易使玻璃产生弯曲，通过所述底支撑件43的结构设置，可实现设置于所述接触部434上玻璃的悬浮柔性支撑，有效缓冲玻璃所受到的外界压力或冲击力，避免振动或冲击对玻璃带来的损伤；同时可有效降低所述玻璃加工治具4往复移动带来的振动，使玻璃底部在所述连接部433的限制下进行小幅度的移动，在保证玻璃在所述玻璃加工治具4上有效摆动。高效去除涂层，减薄用清洗剂让您的生产更顺畅。杭州中芯国际用减薄用清洗剂推荐厂家

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