即两所述侧板422之间设置有一排所述固定板423,从而形成对应设置有所述侧支撑件44的所述竖直平板421,在各所述放置部内放置有一排玻璃,可实现所述放置部结构的小型化,便于在同一所述玻璃加工治具4上设置若干所述放置部以使各所述放置部对应不同尺寸的玻璃。图4为所述调节槽的另一种实施方式,所述调节槽包括若干所述水平槽424和与所述水平槽424均竖直贯通连接的所述竖直槽425,所述固定槽426设置于所述水平槽424的下边缘;两所述竖直平板421均设置有所述侧支撑件44,同一所述水平槽424可设置两个所述固定卡块427,即两所述侧板422之间设置有两排所述固定板423,两所述固定板423分别对应两所述竖直平板421,使在同一所述放置部内分割处两个放置空间,从而在各所述放置部内可放置两排玻璃,便于节省所述玻璃加工治具4上的有限空间,可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合设置于同一所述放置部内。较佳的,两相邻所述水平槽424之间还设置有至少两个定位槽428,所述固定板423两端设置有定位孔429,当所述固定卡块427设置于所述固定槽426内时,所述定位槽428和所述定位孔429位置对应;通过将螺钉穿过所述固定槽426螺纹固定在所述定位孔429中,保证所述固定卡块427在所述固定槽426内。选择减薄用清洗剂,为您的加工过程保驾护航。安徽好用的减薄用清洗剂价格
本发明涉及玻璃减薄技术领域,具体涉及一种玻璃减薄设备。背景技术:随着便携式电子器件的发展,手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化,因此需要制造较薄的玻璃基板。为了制造较薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式减薄法。用浸泡式减薄法减薄玻璃是将玻璃减薄液放入玻璃减薄设备的反应槽中,然后将玻璃放入玻璃减薄液中放置一定时间,使玻璃减薄液与玻璃反应,实现玻璃减薄。目前的浸泡式减薄法中,反应产物会悬浮于玻璃减薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,这种方法容易造成蚀刻不均,导致进行减薄后还需要进行抛光处理,提高了制备成本。鉴于上述缺陷,本发明创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本发明。技术实现要素:为解决上述技术缺陷,本发明采用的技术方案在于,提供一种玻璃减薄设备,包括蚀刻区,用于对竖直容纳在玻璃加工治具中的多个玻璃进行减薄处理;冲洗区,用于所述玻璃加工治具上的玻璃进行减薄前清洁和减薄后清洁;转换区,用于待减薄处理的所述玻璃加工治具加载到所述冲洗区中,并将减薄处理后的所述玻璃加工治具从所述冲洗区卸载到外部;制动组件。江苏玻璃用减薄用清洗剂供应商减薄清洗剂,专为提升产品质量而设计,让您的产品更出色。
在本发明的一个实施例中,抛光液110的主要成分包括:碳化硅颗粒,颗粒直径为50nm~200nm,体积比为3%~5%;次氯酸盐,体积比为30%~40%;氢溴酸,体积比为5%~7%,di水,体积比50~60%。本发明的一个实施例中,如图3所示,磁转子12包括截面为半圆形的柱状磁性结构120和位于柱状磁性结构120的底部平面的研磨层121,以通过研磨层121对待加工部件20的待加工表面进行机械研磨。当然,本发明并不仅限于此,在其他实施例中,可以根据实际需求选择合适的磁转子形状。可选地,研磨层121为金属氧化物层,进一步可选地,金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地,研磨层121的厚度为10μm。本发明实施例中,如图4所示,磁转子12沿箭头所示方向旋转,如沿逆时针或顺时针方向旋转,并且,磁转子12的长度近似等于待加工部件20如inp基晶圆的直径,以对整个待加工表面进行研磨。本发明实施例中,抛光减薄装置还包括控制部件。控制部件与磁转子12和喷头11相连,用于控制喷头11和磁转子12交替工作,以对待加工表面交替进行抛光和减薄。其中,控制部件通过脉冲方式控制喷头11和磁转子12交替工作。可选地,控制部件控制磁转子12的转速为80rpm~200rpm。
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图1为本发明实施例提供的一种抛光减薄装置的结构示意图;图2为本发明实施例提供的一种托盘和待加工部件的键合固定方式示意图;图3为本发明实施例提供的一种磁转子的结构示意图;图4为本发明实施例提供一种磁转子的旋转方式的示意图;图5为本发明实施例提供的一种抛光减薄方法的流程示意图。具体实施方式以上是本发明的思想,为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供了一种抛光减薄装置,用于对inp基晶圆等部件进行抛光减薄,如图1所示,包括托盘10、喷头11和磁转子12,当然,本发明实施例中的抛光减薄装置还包括反应室13等,托盘10、喷头11和磁转子12等在反应室13内进行抛光和减薄反应。其中,托盘10,可选为石英托盘,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圆。喷头11用于向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110,以对待加工表面进行抛光。什么地方需要使用 减薄用清洗剂。深圳显示面板用减薄用清洗剂哪里买
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图2为所述蚀刻区的结构示意图;图3为所述玻璃加工治具的种结构正视图;图4为所述玻璃加工治具的第二种结构正视图;图5为图3中的局部放大图;图6为所述玻璃加工治具的结构俯视图;图7为所述底支撑件的结构正视图;图8为所述底支撑件的结构侧视图。图中数字表示:1-转换区;2-冲洗区;3-蚀刻区;4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度测量仪;33-喷淋组件;41-底座;42-支撑架;43-底支撑件;44-侧支撑件;421-竖直平板;422-侧板;423-固定板;424-水平槽;425-竖直槽;426-固定槽;427-固定卡块;428-定位槽;429-定位孔;431-支撑条;432-第二支撑条;433-连接部;434-接触部;435-磁性件;436-第二磁性件;437-限位孔;438-限位块;439-第二限位块。具体实施方式以下结合附图,对本发明上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。实施例一如图1所示,图1为所述玻璃减薄设备的结构视图;本发明中所述玻璃减薄设备包括转换区1、冲洗区2和蚀刻区3,所述冲洗区2设置于所述转换区1和所述蚀刻区3之间,竖直容纳在玻璃加工治具4中的多个玻璃通过所述转换区1被加载到所述冲洗区2中,在所述冲洗区2中进行减薄前清洁并且在所述蚀刻区3中经历减薄处理。安徽好用的减薄用清洗剂价格