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    用于实现将所述玻璃加工治具从所述转换区经所述冲洗区向所述蚀刻区的减薄前移动，以及从所述蚀刻区经所述冲洗区向所述转换区的减薄后移动；所述冲洗区设置于所述转换区和所述蚀刻区之间。较佳的，所述蚀刻区包括腔室、主厚度测量仪、喷淋组件和控制器；所述主厚度测量仪、所述喷淋组件设置于所述腔室上，所述喷淋组件在所述腔室中对设置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加减薄处理，所述主厚度测量仪实时测量在所述腔室内经历减薄处理的玻璃厚度；所述控制器与所述喷淋组件、所述主厚度测量仪、所述传输组件连接。较佳的，所述喷淋组件包括设置于所述腔室顶部的喷淋头、设置于所述腔室底部的收集槽、以及与所述喷淋头、所述收集槽均连通的外部喷淋液管路，通过所述喷淋头对所述玻璃加工治具上的玻璃喷淋喷淋液从而实现玻璃的减薄处理，所述收集槽收集减薄处理后的喷淋液并传输至所述喷淋液管路从所述腔室内排出。较佳的，所述主厚度测量仪包括用于发射激光束的发射器、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且计算玻璃厚度的分析器。较佳的，所述主厚度测量仪还包括空气喷射器，用于将空气喷射到玻璃表面，将被检测部位暴露于所述发射器对应位置。南通半导体减薄用清洗剂按需定制减薄清洗剂，采用独特工艺，轻松去除顽固涂层。

    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蚀刻区3内作往复移动，所述主厚度测量仪32测量玻璃厚度并且将关于测得厚度的信息实时发送到所述控制器；当测得玻璃厚度达到预设目标厚度时，所述控制器停止在所述蚀刻区3中喷射喷淋液的减薄处理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述冲洗区2移动。一般的，在所述腔室31内，减薄处理的具体工艺参数为：所述玻璃加工治具4的往复运动中单程单向时间设置为～4s，来回往复一次时间设置为3s～8s，往复移动幅度设置约为180mm左右；所述喷淋系统控制的喷淋液流量设置为1500lpm～2400lpm，在所述腔室31内的酸蚀温度一般设置为20℃～40℃；在上述参数下，玻璃的酸蚀速率一般在μm/min～μm/min，可有效实现对玻璃的整体减薄处理。s2，完成减薄处理的所述玻璃加工治具4在所述冲洗区2内经减薄后初清洗后待机，所述控制器进行次减薄厚度确认操作；具体的，通过设置于所述冲洗区2内的所述辅助厚度测量仪，进行检测厚度比较，从而实现所述减薄厚度确认操作，当所述减薄厚度未达到目标厚度时，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31内进行再次减薄处理。s3，所述玻璃加工治具4移动至所述第三冲洗区2进行减薄后终清洗。

    图1为本发明实施例提供的一种抛光减薄装置的结构示意图；图2为本发明实施例提供的一种托盘和待加工部件的键合固定方式示意图；图3为本发明实施例提供的一种磁转子的结构示意图；图4为本发明实施例提供一种磁转子的旋转方式的示意图；图5为本发明实施例提供的一种抛光减薄方法的流程示意图。具体实施方式以上是本发明的思想，为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。本发明实施例提供了一种抛光减薄装置，用于对inp基晶圆等部件进行抛光减薄，如图1所示，包括托盘10、喷头11和磁转子12，当然，本发明实施例中的抛光减薄装置还包括反应室13等，托盘10、喷头11和磁转子12等在反应室13内进行抛光和减薄反应。其中，托盘10，可选为石英托盘，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圆。喷头11用于向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110，以对待加工表面进行抛光。减薄清洗剂，专为提升产品质量而设计，让您的产品更出色。

    产生不良次品；同时由于所述侧支撑件44的移动，可带动玻璃在所述玻璃加工治具4上的摆动，从而实现玻璃与喷淋液的充分均匀接触。较佳的，所述底座41和实施支撑架42上均设置有若干流通孔，所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述喷淋液流至所述收集槽内。实施例四所述支撑架42包括对应设置的架体和第二架体，所述架体和所述第二架体均固定设置在所述底座41上，所述架体包括平行对应设置的两竖直平板421，所述第二架体为与所述竖直平板421连接的对应两侧板422，所述架体和所述第二架体形成盛放部，玻璃设置在所述盛放部内；所述侧板422和所述竖直平板421可均固定设置于所述底座41上，也可相互固定连接形成稳定的矩形框架。所述架体和所述第二架体均设置有若干所述侧支撑件44，且所述侧支撑件44对应所述底支撑件43设置。较佳的，所述架体上固定设置有若干固定孔，所述侧支撑件44可根据玻璃的具体尺寸在相应所述固定孔上固定设置；所述第二架体上设置有调节槽，对应所述调节槽还设置有固定板423，所述固定板423的两端分别设置在对应两所述侧板422的所述调节槽上，并可在所述调节槽内调节移动，从而可使所述玻璃加工治具4适用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。选择高效减薄用清洗剂，为您的生产线注入新活力。台州国产减薄用清洗剂商家

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    来对所述待加工表面进行减薄。可选地，还包括：在所述磁转子运行一段时间后，更换所述磁转子。可选地，将待加工部件固定在托盘上包括：采用光刻胶将所述待加工部件固定在所述托盘上。可选地，对所述待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后，还包括：对所述待加工部件进行清洗；采用特定溶液对所述光刻胶进行腐蚀，以将所述待加工部件与所述托盘分离。与现有技术相比，本发明所提供的技术方案具有以下优点：本发明所提供的抛光减薄装置和抛光减薄方法，采用托盘固定待加工部件，采用喷头向待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对所述待加工表面进行抛光，采用磁转子旋转对待加工表面进行机械研磨，来对所述待加工表面进行减薄，由于减薄过程中待加工部件如inp基晶圆本身不旋转，因此，可以降低抛光减薄过程中对待加工部件如inp基晶圆的挤压应力，降低待加工部件如inp基晶圆的机械加工损伤。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。浙江国产减薄用清洗剂报价