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    磁转子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通过旋转对待加工部件20的待加工表面进行机械研磨，对待加工表面进行减薄。由于减薄过程中待加工部件20如inp基晶圆本身不旋转，因此，可以降低抛光减薄过程中对待加工部件20如inp基晶圆的挤压应力，降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。可选地，本发明实施例中通过光刻胶键合固定待加工部件20和托盘10。当然，本发明并不限于此，在其他实施例中，待加工部件20和托盘10还可以采用其他胶体进行键合固定。基于此，如图2所示，本发明实施例中的抛光减薄装置还包括热板14，该热板14设置在托盘10底部，用于对托盘10进行加热，以使待加工部件20与托盘10键合固定。具体地，将待加工部件20背面喷涂厚度约为2μm的光刻胶21，如az4620光刻胶，然后在托盘10表面喷涂厚度约为3μm的光刻胶21，如az4620光刻胶，之后，将托盘10光刻胶面向上放于温度为90℃的热板14上，将待加工部件20光刻胶面和托盘10光刻胶面贴合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar压强于待加工部件20上进行键合，键合时间20min。本发明实施例中，采用喷头11向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110，来对待加工部件20的待加工表面进行抛光。需要说明的是。苏州哪家公司的减薄用清洗剂的价格比较划算？上海清洗效果好的减薄用清洗剂联系方式

    主营产品：润滑油金属加工液金属清洗剂金属防锈油东莞市清木润滑科技有限公司所在地：广东东莞在线询价铜清洗剂铜抛光剂微能牌洗铜水铜光亮剂是否进口否产地河北品牌微能系列工业清洗系列产品名称微能铜清洗剂是否危险化学品否主营产品：铜清洗剂铜发黑剂钢铁发黑剂中性除锈剂￥邢台市微能科技有限公司所在地：河北宁晋县在线询价供应精密电子仪器清洗剂,精密电子仪器清洗剂,天津清洗剂厂家选金祥顺达分类空调清洗剂型号JDQ-001品牌金祥顺达香型清淡PH值56保质期12主营产品：清洗剂切削液脱漆剂可剥涂料￥所在地：天津北辰区在线询价铜本色清洗剂铜环保化学抛光清洗剂铜光亮清洗剂铜除油除锈清洗剂分类金属清洗剂型号Q804品牌祺度香型无味保质期12主营产品：铜光亮清洗剂铜化学抛光剂铝合金清洗剂压铸铝清洗剂宁波祺度环保科技有限公司所在地：浙江宁波在线询价铜材脱脂剂慧诚是否进口否品牌慧诚系列301产品名称铜材脱脂剂是否危险化学品否主营产品：电解抛光液酸洗钝化膏不锈钢钝化膏不锈钢除锈水￥济宁慧诚化工有限公司所在地：山东济宁在线询价供应铜清洗剂、铜光亮剂类别中性清洗液型号DunHua968E主要用途1.处理后不影响导电性、焊锡性能。2.超长的抗盐雾防锈性能，。嘉兴哪家公司减薄用清洗剂减薄用清洗剂，助您实现精密加工，提升产品品质。

    所述支撑条431和所述第二支撑条432一一平行对应设置，所述连接部433活动连接所述支撑条431和所述第二支撑条432，所述支撑条431固定设置于所述底座41上，所述接触部434均匀设置在所述第二支撑条432上。同时可通过设置所述支撑条431的高度或所述支撑条431的固定位置从而调节所述底支撑件43的高度，如通过将上述支撑条431的两端固定在两所述竖直平板421上。较佳的，所述支撑条431和所述第二支撑条432上设置有磁性组，所述支撑条431和所述第二支撑条432在所述磁性组提供的磁性斥力作用下具有调节间隙。所述磁性组包括磁性件435和第二磁性件436，所述磁性件435和所述第二磁性件436分别设置于所述支撑条431和所述第二支撑条432上，且所述磁性件435和所述第二磁性件436之间具有磁性斥力，从而使所述第二支撑条432悬浮于所述支撑条431的上方。所述连接部433设置有限位孔437，所述限位孔437设置为腰型孔，所述支撑条431的水平两侧均设置有若干限位块438，所述第二支撑条432的水平两侧均设置有若干第二限位块439，所述限位块438和所述第二限位块439一一对应设置，对应设置的所述限位块438和所述第二限位块439均设置在同一所述连接部433的所述限位孔437内。

    本发明涉及半导体制造技术领域，更具体地说，涉及一种抛光减薄装置和抛光减薄方法。背景技术：采用iii-v族化合物制作的半导体器件和超高速数字/数模混合电路等凭借其优良的频率特性，已经成为通讯、雷达、制导、空间防御、高速智能化武器及电子对抗等现代化装备的部件之一。在众多的iii-v族化合物中，inp(磷化铟)化合物具有独特的优势，这主要得益于其优良的材料特性，例如，inp和ingaas(铟镓砷)之间的晶格失配很小，以及电子饱和速率很高等，所以不论是hemt(highelectronmobilitytransistor，高电子迁移率晶体管)结构还是hbt(heterojunctionbipolartransistor，异质结双极晶体管)结构，都具有非常优异的高频、大功率性能。但是，inp材料的物理性能却很差，非常易碎，很小的碰撞或振动都会导致晶圆碎裂而前功尽弃，因此，inp材料的制造加工面临着很多工艺上的难题。尤其是在超高频率、大功率的inp基rfic(射频集成电路)的制造工艺中，如何在对inp基晶圆进行减薄抛光时，减小或避免inp基晶圆的损伤是本领域技术人员亟待解决的问题之一。技术实现要素：有鉴于此，本发明提供了一种抛光减薄装置和抛光减薄方法，以减小或避免inp基晶圆的减薄抛光损伤。为实现上述目的。减薄清洗剂，采用科技，为您带来好的清洁效果。

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