福建如何发展BOE蚀刻液报价

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    然后将装有蚀刻液的石英烧瓶放入加热套中加热，待加热到确定温度后，放入氮化硅样片进行蚀刻；蚀刻完后，取出样片采用热超纯水清洗和氮气吹干后，使用椭圆偏振光谱仪对蚀刻前所取位置的6个点的厚度进行测量，计算蚀刻前后6个取点的厚度差值，对比6个点之间的厚度差值的差异。与现有的使用磷酸作为蚀刻液相比，本发明的有益效果是：醇醚类和表面活性剂的添加能明显改善磷酸溶液的浸润性和降低磷酸溶液的表面张力，有效提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿性和蚀刻均匀性。具体实施方式下面结合具体实施例，进一步阐述本发明，对本发明做进一步详细的说明，但不限于这些实施例。本发明的蚀刻液配制时选择的磷酸浓度为85％，蚀刻温度为160℃，蚀刻时间为10min。先对所配制蚀刻液的表面张力进行检测，然后将氮化硅样片使用超纯水清洗和氮气吹干后，进行接触角的测量；蚀刻前使用超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后，在氮化硅样片上取6个不同位置的点对其厚度进行测量；蚀刻完成后使用热超纯水清洗和氮气吹干氮化硅样片后，取与蚀刻前相同位置的6个点进行厚度测量。实施例1本发明的实施例按蚀刻液总质量为400g进行配制，先称取浓度为85％的磷酸，然后称取添加剂加入磷酸中。专业BOE蚀刻液私人定做苏州口碑好的BOE蚀刻液公司。

    此处所描述的具体实施例用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。参照图1，本实用新型实施例提供的酸性蚀刻液电解后液处理系统包括：电解槽1、射流器2、再生液调配缸3、液体泵4，其中，电解槽1具有一出液口和出气口，且电解槽1中内置有酸性蚀刻液，电解槽1对该酸性蚀刻液进行电解提铜，产生氯气，得到电解后液，并且，产生的氯气通过位于上方的出气口排出，电解后液通过位于下方的出液口排出。射流器2包括混气室21和扩散管22，混气室21和扩散管22之间为喉管，混气室21具有进气口2a、进液口2b、出液口2c，扩散管22连接至出液口2c，进气口2a通过导气管a与电解槽1的出气口连接以接收氯气，扩散管22深入到再生液调配缸3中。再生液调配缸3具有进液口和循环出液口，进液口通过管道b与电解槽1的出液口连接以接收电解后液。液体泵4的一端通过管道b连接再生液调配缸3的循环出液口，另一端通过管道b连接射流器2的进液口2b，用于将再生液调配缸3中的电解后液通过管道b抽取至射流器2的进液口2b。电解槽1电解提铜后，阳极产生的氯气通过导气管a进入到射流装置2的混气室21内，电解后液通过液体泵4打入到射流装置2的混气室21，在混气室21形成真空，在喉管处氯气与电解后液剧烈混合。

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