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所述的磷酸浓度为82-87%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,醇醚类的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,表面活性剂的含量为%。进一步地,本发明涉及上述蚀刻液,所述的醇醚类为选自二乙二醇单甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇单甲醚、三甘醇单丁醚等中的至少一种;表面活性剂为选自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸钠、月桂酰氨乙基硫酸钠、醇醚羧酸盐等中的至少一种。进一步地,在使用本发明的蚀刻液进行氮化硅层蚀刻时,蚀刻温度为152-165℃,蚀刻时间为5-60min。通过在磷酸中添加醇醚类和表面活性剂,改善了磷酸的浸润性和表面张力,明显提高了蚀刻液对氮化硅层的润湿和蚀刻均匀性。为了便于验证氮化硅薄膜层的蚀刻均匀性,本发明使用淀积了氮化硅薄膜的晶圆样片(初始厚度约为)。蚀刻液配制完成后,先使用表面张力仪检测该蚀刻液的表面张力;然后将氮化硅晶圆片切割成1cm*3cm的小样片,采用超纯水清洗和氮气吹干后,使用接触角测量仪检测蚀刻液对氮化硅层的接触角大小。在蚀刻前,使用椭圆偏振光谱仪对氮化硅样片取不同位置共6个点进行厚度的测量。
全球范围内,缓冲氧化物蚀刻液市场主要集中在北美、亚太以及欧洲等地区,其中亚太地区缓冲氧化物蚀刻液市场增速较快,在该区域内,中国、日本以及韩国是缓冲氧化物蚀刻液市场主要参与者。近年来,伴随全球产业向东转移,我国半导体、平板显示等产业规模不断扩大,这为缓冲氧化物蚀刻液行业发展提供了广阔空间。
从市场竞争方面来看,缓冲氧化物蚀刻液生产企业主要分布在欧美、日韩、中国及中国台湾等地区,相关生产企业包括德国巴斯夫、关东化学公司、美国Arch化学品公司、三菱化学、浙江凯圣氟化学、江阴江化微电子材料、台塑大金精密化学股份、江阴润玛电子材料等。 BOE蚀刻液的大概费用大概是多少?
所述组合物包含540重量%的甲基四氢呋喃和6095重量%的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。的甲基四氢呋喃是2-甲基四氢呋喃。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中,九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。不论R是什么,的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟异丁基烷基醚组成。共沸或共沸型的组合物是特别有利的。当R为甲基时,该共沸或共沸型的组合物包含515重量%的甲基四氢呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。包含8重量%的甲基四氢呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚的共沸组合物在大气压下具有°C的沸点。当R为乙基时,该共沸或共沸型的组合物包含1040重量%的甲基四氢呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。包含%的甲基四氢呋喃和%的九氟丁基乙基醚的共沸组合物在大气压()下具有°C的沸点。共沸组合物是两种或更多种化合物的液体混合物,其具有可高于或低于各化合物的沸点的恒定沸点(即,在沸腾或蒸发期间没有分馏的倾向)。因此,在蒸发期间形成的蒸气的组成与初始的液体组合物相同或者几乎相同。共沸型组合物是两种或更多种化合物的液体混合物,其具有基本上恒定的沸点,也就是说,共沸型组合物起到单一化合物的作用。什么制程中需要使用BOE蚀刻液。BOE蚀刻液商家
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硝酸是一种强氧化性、腐蚀性的强酸。硝酸易溶于水,常温下其溶液无色透明。其不同浓度水溶液性质有别,市售浓硝酸为恒沸混合物,质量分数为(约16mol/L),质量分数足够大(市售浓度为95%以上)的,称为发烟硝酸。硝酸易见光分解,应在棕色瓶中于阴暗处避光保存,也可保存在磨砂外层塑料瓶中(不太建议),严禁与还原剂接触。化学式是HNO3,浓硝酸与浓盐酸按体积比1:3混合可以制成具有强腐蚀性的王水。硝酸的酸酐是五氧化二氮(N2O5)。产品名称电子级硝酸英文名Nitricacid产品规格EL/UP/UP-S/UP-SS/UP-SSSCASNO7697-37-2包装形式4L/桶、20L/桶、200L/蓝圆桶、1000L/桶、槽车分子量质保期6-12个月分子式HNO3InChIInChI=1/NO3/c2-1(3)4/q-1/p+1ECNO231-714-2。河南BOE蚀刻液厂家现货