将装置主体1内部的蚀刻液进行清洗,具有很好的清理作用。工作原理:对于这类的回收处理装置,首先将蚀刻液倒入进液漏斗6并由过滤网7过滤到进液管8中,之后蚀刻液流入到承载板3上的电解池4中时,启动液压缸11带动伸缩杆12向上移动,从而通过圆环块13配合连接杆14和伸缩管9带动喷头10向上移动,进而将蚀刻液缓慢的由喷头10喷入到电解池4中,避免蚀刻液对电解池4造成冲击而影响其使用寿命,具有保护电解池4的功能,之后金属铜在隔膜5左侧析出;其次在蚀刻液初次电解后,通过控制面板30启动增压泵16并打开一号电磁阀18,将蚀刻液通过回流管15抽入到一号排液管17中,并由进液管8导入到伸缩管9中,直至蚀刻液由喷头10重新喷到电解池4中,可以充分的将蚀刻液中的亚铜离子电解转化为金属铜,起到循环电解蚀刻液的作用,然后打开二号电磁阀23,将蚀刻液通过二号排液管22导入到分隔板2左侧,倾斜板24使得蚀刻液向左流动以便排出到装置主体1外,接着启动抽气泵19,将电解池4中产生的有害气体抽入到排气管20并导入到集气箱21中,实现有害气体的清理,紧接着打开活动板25将金属铜取出,之后启动增压泵16并打开三号电磁阀29,将由进水管27导入到蓄水箱26中的清水。铝蚀刻液的配方是什么?深圳铝钼铝蚀刻液蚀刻液销售厂家
本发明涉及铜蚀刻液技术领域,具体涉及一种酸性铜蚀刻液的生产工艺。背景技术:高精细芯片和显示集成电路主要采用铜制程,其光刻工艺中形成铜膜层结构所需用的铜刻蚀液中主要的为过氧化氢系铜刻蚀液。过氧化氢系铜蚀刻液较其他铜刻蚀液体系(如三氯化铁体系,过硫酸铵体系)具有不引人其他金属离子在铜层表面或线路体系中,产物亲和、友好、环境污染少,刻蚀效率高且使用寿命较长的特点。大部分过氧化氢系铜刻蚀液包括参与氧化的过氧化氢组分、参与溶解的无机酸/有机酸组分,以及部分铜缓蚀剂等各类添加三个部分。由于铜蚀刻液中各物质的反应为放热反应,体系中又含有过氧化氢在制备铜蚀刻液的生产过程中需要保证生产安全。技术实现要素:本发明的目的在于,克服现有技术中存在的缺陷,提供一种铜蚀刻液大规模量产的生产工艺,该生产工艺温控严格,生产过程中安全性高。为实现上述目的,本发明的技术方案是设计一种酸性铜蚀刻液的生产工艺,所述工艺包括以下步骤:第一步:将纯水进行低温处理,使纯水温度≤10℃在纯水罐中备用;第二步:配制和准备原料,将亚氨基二乙酸、氢氟酸和乙醇酸分别投入对应的原料罐中,经过过滤器循环过滤,备用。成都蚀刻液推荐厂家苏州性价比高的蚀刻液。
在上述硅烷系偶联剂的含量处于上述含量范围内的情况下,能够调节添加剂本身凝胶化,且获得合适的sio2防蚀和sin蚀刻性能。(c)水本发明的蚀刻液组合物中所包含的上述水可以为用于半导体工序的去离子水,推荐使用18mω/㎝以上的上述去离子水。上述水的含量可以为使包含本发明的必须成分以及除此以外的其他成分的组合物总重量成为100重量%的余量。推荐可以按照本发明的组合物总重量的2~45重量%来包含。<选择添加剂的方法、由此选择的添加剂及利用其的蚀刻方法>此外,本发明提供选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*对上述氮化物膜选择性蚀刻的蚀刻液组合物的添加剂的方法、由此选择的添加剂以及利用该添加剂的蚀刻方法。上述蚀刻液组合物中说明的、对于添加剂选择等的一切内容均可以同样地应用于本发明的选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜的蚀刻液组合物的添加剂的方法、由此选择的添加剂以及利用该添加剂的蚀刻方法。具体而言,提供选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜的蚀刻液组合物的硅烷系偶联剂的方法、由此选择的硅烷系偶联剂以及包含该硅烷系偶联剂的蚀刻方法。
本实用新型涉及一种铝蚀刻液生产设备。背景技术:铝蚀刻液生产设备主要包括混合罐、过滤器和储存罐,将蚀刻液中的各组份在混合罐混合均匀,由过滤器滤去杂质后投入储存罐中暂存,然后分装销售。以往,铝蚀刻液的分装由人工操作,随着自动化技术的兴起,全自动灌装线在铝蚀刻液生产企业得到广泛应用,但是,我司的铝蚀刻液生产车间面积较小,无法放置自动灌装线,所以需要对现有的生产设备进行改造,以实现铝蚀刻液的全自动灌装。技术实现要素:本实用新型提出了一种铝蚀刻液生产设备,以解决上述背景技术中提出的问题。为达前述目的,本实用新型提供的技术方案如下:铝蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器、数个储存罐、数辆液压升降式拖车和地磅,所述混合罐通过液管与所述过滤器连接,所述过滤器的出液口处安装有气动升降式出液管,每个所述储存罐固定在对应的拖车顶部,所述储存罐的进液口和出液口处安装有单向液动阀,所述地磅位于所述过滤器的下方,所述地磅的顶部设置有将所述拖车固定的气动夹紧机构。在本技术方案中,载有空储存罐的拖车置于地磅上方,过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中,当地磅所测得的重量达到系统预设重量时。苏州有哪些公司可以做蚀刻液。
技术实现要素:本实用新型所解决的技术问题即在于提供一种挡液板结构与以之制备的蚀刻设备,尤其是指一种适用于湿式蚀刻机的挡液排液功能且增加其透气性以降低产品损耗的挡液板结构与以之制备的蚀刻设备,主要借由具有复数个宣泄孔的挡液板结构搭配风刀装置的硬体设计,有效使风刀装置吹出的气体得以经由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面张力现象防止水滴由宣泄孔落下造成基板显影不均等异常现象,确实达到保有原始挡液板的挡液效果,以及增加透气性以破除真空以减少因真空吸板导致的基板刮伤或破片风险等主要优势。本实用新型所采用的技术手段如下所述。为了达到上述的实施目的,本实用新型提出一种挡液板结构,适用于一湿式蚀刻机,挡液板结构包括有一***挡板、一与***挡板接合的第二挡板,以及一与第二挡板接合的第三挡板,其主要特征在于:第二挡板具有复数个贯穿第二挡板且错位设置的宣泄孔。如上所述的挡液板结构,其中***挡板与第二挡板呈正交设置,且第二挡板与第三挡板呈正交设置。如上所述的挡液板结构,其中***挡板、第二挡板与第三挡板围设成一凹槽的态样。如上所述的挡液板结构,其中第二挡板的长度介于10厘米(centimeter,cm)至15厘米(cm)之间。蚀刻液的的性价比、质量哪家比较好?合肥铜钛蚀刻液蚀刻液供应
蚀刻液蚀刻后的样貌形态。深圳铝钼铝蚀刻液蚀刻液销售厂家
内部顶部两侧的震荡弹簧件14,震荡弹簧件14顶端的运转电机组13,运转电机组13顶端的控制面板15,内部中间部位的致密防腐杆16和致密防腐杆16内部内侧的搅动孔17共同组合而成,由于盐酸硝酸具有较强的腐蚀性,常规的搅拌装置容易被腐蚀,影响蚀刻液的质量,用防腐蚀的聚四氟乙烯搅拌浆进行搅拌,成本过高,且混合的效果不好,通过设置高效搅拌装置2,该装置通过运转电机组13驱动旋转摇匀转盘12,使旋转摇匀转盘12带动高效搅拌装置2进行旋转摇匀,同时设置的震荡弹簧件14可通过驱动对高效搅拌装置2进行震荡摇匀,高效搅拌装置2内部的蚀刻液通过内置的致密防腐杆16,致密防腐杆16内部的搅动孔17能够使蚀刻液不断细化均匀化,从而很好的防止了蚀刻液的腐蚀,且成本低廉,搅拌均匀效果较好。推荐的,注入量精确调配装置是由盐酸装罐7内部一侧的嵌入引流口22,嵌入引流口22一端的负压引流器21,负压引流器21一端的注入量控制容器18,注入量控制容器18内部内侧的注入量观察刻度线19和注入量控制容器18一侧的限流销20共同组合而成,现有的制备装置无法对相关原料的注入量进行精确控制,无法很好的保证蚀刻液制备的纯度,通过设置注入量精确调配装置。深圳铝钼铝蚀刻液蚀刻液销售厂家