本发明涉及能够从施加有抗蚀剂的基材剥离抗蚀剂的抗蚀剂的剥离液。背景技术::印刷布线板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蚀剂等抗蚀剂的剥离液中,伴随微细布线化而使用胺系的剥离液。然而,以往的胺系的抗蚀剂的剥离液有废液处理性难、海外的法规制度的问题,而避免其使用。近年来,为了避免胺系的抗蚀剂的剥离液的问题点,还报道了一种含有氢氧化钠和溶纤剂的剥离液(专利文献1),由于剥离时的抗蚀剂没有微细地粉碎,因此存在近年的微细的布线间的抗蚀剂难以除去的问题点。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2002-323776号公报技术实现要素:发明要解决的问题因此,本发明的课题在于,提供容易除去微细的布线间的抗蚀剂的技术。用于解决问题的手段本发明人等为了解决上述课题而深入研究的结果发现,含有钾盐和溶纤剂的溶液与专利文献1那样的含有氢氧化钠和溶纤剂的溶液相比,即使是非常微细的布线间的抗蚀剂也能细小地粉碎,从而完成本发明。即,本发明涉及一种抗蚀剂的剥离液,其特征在于,含有钾盐和溶纤剂。另外,本发明涉及一种抗蚀剂的除去方法,其特征在于,用上述抗蚀剂的剥离液处理施加有抗蚀剂的基材。此外,本发明涉及一种抗蚀剂的剥离液套件。如何正确使用剥离液。铜陵市面上哪家剥离液供应商
随着电子元器件制作要求的提高,相关行业应用对湿电子化学品纯度的要求也 不断提高。为了适应电子信息产业微处理工艺技术水平不断提高的趋势,并规范世 界超净高纯试剂的标准,国际半导体设备与材料组织(SEMI)将湿电子化学品按金 属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等指标制定国际等级分类标准。湿电子化 学品在各应用领域的产品标准有所不同,光伏太阳能电池领域一般只需要 G1 级水平;平板显示和 LED 领域对湿电子化学品的等级要求为 G2、G3 水平;半导体领域中, 集成电路用湿电子化学品的纯度要求较高,基本集中在 G3、G4 水平,分立器件对 湿电子化学品纯度的要求低于集成电路,基本集中在 G2 级水平。一般认为,产生集 成电路断丝、短路等物理性故障的杂质分子大小为**小线宽的 1/10。因此随着集成 电路电线宽的尺寸减少,对工艺中所需的湿电子化学品纯度的要求也不断提高。从 技术趋势上看,满足纳米级集成电路加工需求是超净高纯试剂今后发展方向之一。无锡显示面板用剥离液费用是多少剥离液的类别一般有哪些。
701、油墨放置箱;702、油墨加压器;703、高压喷头;704、防溅射挡板;705、印刷辊;8、胶面剥离结构;801、收卷调速器;802、收卷驱动电机;803、辊固定架;804、胶水盛放箱;805、点胶头;806、卷边辊;807、胶面收卷辊;9、电加热箱;10、热风喷头;11、干燥度感应器;12、电气控制箱;13、液晶操作面板。具体实施方式下面结合附图对本**技术作进一步说明:如图1-图4所示,一种印刷品胶面印刷剥离复合装置,包括主支撑架1、横向支架2、伺服变频电机3、电机减速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷结构7、胶面剥离结构8,所述主支撑架1上方设置有所述横向支架2,所述横向支架2上方设置有所述伺服变频电机3,所述伺服变频电机3上方设置有所述电机减速箱4,所述电机减速箱4上方安装有印刷品传送带5,所述印刷品传送带5一侧安装有所述印刷品放置箱6,所述印刷品放置箱6一侧安装有所述表面印刷结构7,所述表面印刷结构7上方设置有油墨放置箱701,所述油墨放置箱701下方安装有油墨加压器702,所述油墨加压器702下方安装有高压喷头703,所述高压喷头703一侧安装有防溅射挡板704,所述防溅射挡板704下方安装有印刷辊705,所述表面印刷结构7一侧安装有所述胶面剥离结构8。
采用此方法可以制备出负性光刻胶所能制备的任意结构,同时相比于传统的加工,本方案加工效率可以提高上千倍,且图形的结构越大相对的加工效率越高。本发明为微纳制造领域,光学领域,电学领域,声学领域,生物领域,mems制造,nems制造,集成电路等领域提供了一种新的有效的解决方案。附图说明图1为本发明制备用电子束在pmma上曝光出圆形阵列的轮廓;图2为本发明用黏贴层撕走pmma轮廓以外的结构后得到的圆形柱状阵列;图3为实施例1步骤三的结构图;图4为实施例1步骤四的结构图;图5为实施例1步骤五的结构图;图6为实施例1步骤六的结构图。具体实施方式为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明作进一步详细的描述。实施例1一种选择性剥离光刻胶制备微纳结构的方法,包括以下步骤:步骤一、提供衬底,并清洗;步骤二、使用十三氟正辛基硅烷利用高温气体修饰法对衬底进行修饰;步骤三、利用旋涂的方法在衬底上旋涂光刻胶pmma得到薄膜,如图3。步骤四、在光刻胶上加工出所需结构的轮廓如圆形,如图4所示。步骤五、在加工出结构轮廓的薄膜上面覆盖一层黏贴层,如图5。步骤六、揭开黏贴层及结构轮廓以外的薄膜,在衬底上留下轮廓内的微纳尺度结构。哪家的剥离液的价格低?
所述胶水盛放箱804与所述点胶头805通过管道连接,所述卷边辊806与所述胶面收卷辊807通过皮带连接,所述收卷驱动电机802与所述胶面收卷辊807通过导线连接。本实施例中,所述电加热箱9与所述干燥度感应器11通过导线连接,所述电气控制箱12与所述液晶操作面板13通过导线连接。本实施例中,所述主支撑架1由合金钢压制而成,厚度为5mm。本实施例中,所述干燥度感应器11与所述电气控制箱12通过导线连接。本实施例中,所述防溅射挡板704共有两块,倾斜角度为45°。本实施例中,所述电气控制箱12与所述表面印刷结构7通过导线连接,所述电气控制箱12与所述胶面剥离结构8通过导线连接。具体工作原理为:将印刷品放置于所述印刷品放置箱6中,印刷品进入所述印刷品传送带5本文档来自技高网...【技术保护点】1.一种印刷品胶面印刷剥离复合装置,其特征在于:包括主支撑架(1)、横向支架(2)、伺服变频电机(3)、电机减速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷结构(7)、胶面剥离结构(8),所述主支撑架(1)上方设置有所述横向支架(2),所述横向支架(2)上方设置有所述伺服变频电机(3),所述伺服变频电机(3)上方设置有所述电机减速箱(4),所述电机减速箱(4)上方安装有印刷品传送带(5)。苏州性价比较好的剥离液的公司联系电话。铜陵市面上哪家剥离液供应商
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添加剂中含有醇醚化合物、胺化合物、缓蚀剂以及润湿剂;s3:将步骤s1的剥离液废液与添加剂混合,重新制备剥离液新液,制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻胶剥离液为纯有机溶剂体系,废液可通过蒸馏回收80-95%有效物,得出纯化液体,而在上述制备方式中,纯化液体所含的组分与添加剂所含的组分之间是具有相重复的,可以认为,添加剂是根据已知的剥离液新液的组分进行配制的,添加剂可以是对纯化液体与剥离液新液之间的组分的差别而进行的添加、补充,使得纯化液体和添加剂混合后,能够具有与剥离液新液相同的组分。那么,可以知道,在预先知道剥离液新液的组分的基础上,可以通过预先配制含有剥离液新液中的某些组分的添加剂,然后在制备回收的剥离液废液得出纯化液体时,可以将添加剂加入纯化液体中,再进行质量分数的调节。纯化液体是将剥离液废液进行加压、蒸馏,去除剥离液废液中的非剥离液新液的组分的物质,然后得出的纯化液体,纯化液体中所含的组分物质,都是剥离液新液所含有的组分物质。进一步技术方案中,所述的步骤1中得出的纯化液体中含有的酰胺化合物的质量分为:45%-60%;含有的醇醚化合物的质量分为:35%-50%。铜陵市面上哪家剥离液供应商
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