本发明涉及化学制剂技术领域:,特别涉及一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液。背景技术::随着半导体制造技术以及立体封装技术的不断发展,电子器件和电子产品对多功能化和微型化的要求越来越高。在这种小型化趋势的推动下,要求芯片的封装尺寸不断减小。3d叠层粉妆技术的封装体积小,立体空间大,引线距离短,信号传输快,所以能够更好地实现封装的微型化。晶圆叠层是3d叠层封装的一种形式。叠层晶圆在制造的过程中会对**外层的晶圆表面进行显影蚀刻,当中会用到光刻胶剥离液。以往的光刻胶剥离液对金属的腐蚀较大,可能进入叠层内部造成线路减薄,药液残留,影响产品的质量。因此有必要开发一种不会对叠层晶圆产生过腐蚀的光刻胶剥离液。技术实现要素:本发明的主要目的在于提供一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液,既具有较高的光刻胶剥离效率,又不会对晶圆内层有很大的腐蚀。本发明通过如下技术方案实现上述目的:一种用于叠层晶圆的光刻胶剥离液,配方包括10~20wt%二甲基亚砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氢氧化铵,~1wt%硫脲类缓蚀剂和~2wt%聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去离子水。具体的。剥离液使用时要注意什么?池州BOE蚀刻液剥离液销售价格
本发明**技术公开了一种印刷品胶面印刷剥离复合装置,包括主支撑架、横向支架、伺服变频电机、电机减速箱、印刷品放置箱、表面印刷结构、胶面剥离结构,所述主支撑架上方设置有所述横向支架,所述横向支架上方设置有所述伺服变频电机,所述卷边辊一侧安装有胶面收卷辊,所述胶面剥离结构一侧安装有电加热箱,所述电加热箱下方安装有热风喷头,所述热风喷头下方安装有干燥度感应器,所述干燥度感应器下方安装有电气控制箱,所述电气控制箱上方安装有液晶操作面板。有益效果在于:采用黏合方式对印刷品胶面印刷进行剥离,同时能够对印刷品胶面进行回收,节约了大量材料,降低了生产成本。AprintedpeelingcompounddeviceforprintingsurfaceprintingTheinventiondisclosesaprintedpeelingstrippingcompounddevice,whichincludesamainsupportframe,alateralbracket,aservomotor,amotordecelerationbox,aprintingbox,【技术实现步骤摘要】一种印刷品胶面印刷剥离复合装置本**技术涉及印刷品加工设备领域,本**技术涉及一种印刷品胶面印刷剥离复合装置。技术介绍胶面印又称胶上印。邮票图案误印在涂有背胶的一面。在邮票印刷过程中,不慎将邮票**涂胶纸放反而造成。邮票胶面印后。苏州哪家剥离液销售公司质量好的剥离液的公司联系方式。
当当前级别腔室101对应的过滤器30被薄膜碎屑阻塞后,通过阀门开关60关闭当前级别腔室101对应的存储箱20与过滤器30之间的液体流通,从而可以在阀门开关60关闭后取下被阻塞的过滤器30进行清理并不会导致之后的下一级腔室102的剥离进程无法继续。其中,腔室10用于按照处于剥离制程的玻璃基板的传送方向逐级向玻璃基板分别提供剥离液;与多个腔室10分别对应连接的多个存储箱20,各级腔室10分别通过管道与相应的存储箱20连接,存储箱20用于收集和存储来自当前级腔室101的经历剥离制程的剥离液;过滤器30用于过滤来自当前级腔室101的存储箱20的剥离液,并且过滤器30还可以通过管道与下一级腔室102连接,从而过滤器30可以将过滤后的剥离液输送给下一级腔室102。各腔室10设计为适合进行剥离制程,用于向制程中的玻璃基板供给剥离液,具体结构可参考现有设计在此不再赘述。各级腔室10分别于相应的存储箱20通过管道连接,腔室10中经历剥离制程后的剥离液可以经管道输送至存储箱20中,由存储箱20来收集和存储。各级腔室10的存储箱20分别与相应的过滤器30通过管道连接,经存储箱20处理后的剥离液再经相应的过滤器30过滤后才经管道输送至下一级腔室102。本申请中。
实施例1~6:按照表1配方将二甲基亚砜、一乙醇胺、四甲基氢氧化铵、硫脲类缓蚀剂、聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂、n-甲基吡咯烷酮和去离子水混合,得到用于叠层晶圆的光刻胶剥离液。表1:注:含量中不满100wt%的部分由去离子水补足余量。以cna披露的光刻胶剥离液作为对照例,与实施例1~6所得用于叠层晶圆的光刻胶剥离液进行比较试验,对面积均为300cm2的叠层晶圆上的光刻胶进行剥离并分别测定剥离周期、金属镀层的腐蚀率和过片量(剥离的面壁数量)。对比情况见表2:表2:剥离周期/s金属腐蚀率/ppm过片量/片实施例1130~15015376实施例2130~15016583实施例3130~15017279实施例4130~15015675实施例5130~15016372实施例6130~15017681对照例180~20022664由表2可知,本用于叠层晶圆的光刻胶剥离液通过加入硫脲类缓蚀剂和聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂,使剥离效率有明显的提升,对金属腐蚀率降低20%以上,而且让过片量提高10%以上。以上所述的*是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。哪家公司的剥离液是比较划算的?
所述防溅射挡板下方安装有印刷辊,所述表面印刷结构一侧安装有所述胶面剥离结构,所述胶面剥离结构上方安装有收卷调速器,所述收卷调速器一侧安装有收卷驱动电机,所述收卷驱动电机一侧安装有辊固定架,所述辊固定架一侧安装有胶水盛放箱,所述胶水盛放箱下方安装有点胶头,所述点胶头下方安装有卷边辊,所述卷边辊一侧安装有胶面收卷辊,所述胶面剥离结构一侧安装有电加热箱,所述电加热箱下方安装有热风喷头,所述热风喷头下方安装有干燥度感应器,所述干燥度感应器下方安装有电气控制箱,所述电气控制箱上方安装有液晶操作面板。进一步的,所述主支撑架与所述横向支架通过螺栓连接,所述伺服变频电机与所述电机减速箱通过导线连接。进一步的,所述印刷品传送带与所述印刷品放置箱通过皮带连接,所述电加热箱与所述胶面剥离结构通过导线连接。进一步的,所述油墨放置箱与所述油墨加压器通过管道连接,所述油墨加压器与所述高压喷头通过管道连接,所述印刷辊共有两个,对称设置,所述防溅射挡板与所述油墨放置箱焊接。进一步的,所述收卷调速器与所述收卷驱动电机通过导线连接,所述辊固定架与所述胶面收卷辊通过轴连接,所述胶水盛放箱与所述点胶头通过管道连接。剥离液蚀刻后如何判断好坏 ?上海显示面板用剥离液销售厂家
剥离液蚀刻后的样貌形态。池州BOE蚀刻液剥离液销售价格
上述组分中,酰胺是用于溶解光刻胶;醇醚是用于润湿、膨润、溶解光刻胶的;环胺与链胺,用于渗透、断开光刻胶分子间弱结合力;缓蚀剂,用于降低对金属的腐蚀速度;润湿剂,能够增强亲水性,使得剥离液亲水性良好,能快速高效地剥离溶解光刻胶。进一步技术方案中,所述的步骤s3中重新制备剥离液新液,制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物,其中重新制备新液时,加入的纯化液体质量分数为:70%-95%,加入的添加剂质量分数为:5%-10%;加入的酰胺化合物质量分数为:0-15%;加入的醇醚化合物质量分数为0-5%。在制备过程中额外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是为了调节中心制备的剥离液新液中各组分的质量分数,将配比调节到更优的比例,使得剥离液新液的效果更好。经由上述的技术方案可知,与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:本发明对剥离液废液进行加压、蒸馏等处理,得出纯化液体,该纯化液体中所含的物质是剥离液新液中所含有的某些组分,而通过预先制备添加剂,可以在得出纯化液体后直接加入添加剂以及原材料,重新配备剥离液新液,使得剥离液废液得以循环再生,减少资源的浪费以及对环境的危害。池州BOE蚀刻液剥离液销售价格
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